[发明专利]14B陶瓷吸嘴在审
| 申请号： | 201810346903.3 | 申请日： | 2018-04-18 |
| 公开（公告）号： | CN108389828A | 公开（公告）日： | 2018-08-10 |
| 发明（设计）人： | 田敏 | 申请（专利权）人： | 湖南方彦电子有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/683 | 分类号： | H01L21/683 |
| 代理公司： | 北京科亿知识产权代理事务所(普通合伙) 11350 | 代理人： | 汤东凤 |
| 地址： | 416000 湖南省湘西土家族*** | 国省代码： | 湖南;43 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 14B陶瓷吸嘴，它涉及半导体晶片自动化生产设备技术领域；它包含陶瓷吸头、五金座、弹簧、五金外套管；所述的陶瓷吸头的一端安装在五金座内，弹簧设置在五金外套管内；所述的五金外套管与五金座固定连接。本发明所述的14B陶瓷吸嘴，既具备了绝缘、耐磨、抗高温、硬度极高的特点，又解决了现有技术内部没有缓冲力导致陶瓷头吸嘴易裂、使用寿命短的问题，本发明具有结构简单、设置合理、制作成本低等优点。 | ||
| 搜索关键词： | 五金 吸嘴 外套管 陶瓷 陶瓷吸头 弹簧 自动化生产设备 半导体晶片 使用寿命 缓冲力 抗高温 陶瓷头 耐磨 绝缘 制作 | ||
【主权项】：
1.14B陶瓷吸嘴，其特征在于：它包含陶瓷吸头、五金座、弹簧、五金外套管；所述的陶瓷吸头的一端安装在五金座内，弹簧设置在五金外套管内；所述的五金外套管与五金座固定连接。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
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H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
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