[发明专利]14B陶瓷吸嘴在审
| 申请号： | 201810346903.3 | 申请日： | 2018-04-18 |
| 公开（公告）号： | CN108389828A | 公开（公告）日： | 2018-08-10 |
| 发明（设计）人： | 田敏 | 申请（专利权）人： | 湖南方彦电子有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/683 | 分类号： | H01L21/683 |
| 代理公司： | 北京科亿知识产权代理事务所(普通合伙) 11350 | 代理人： | 汤东凤 |
| 地址： | 416000 湖南省湘西土家族*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 五金 吸嘴 外套管 陶瓷 陶瓷吸头 弹簧 自动化生产设备 半导体晶片 使用寿命 缓冲力 抗高温 陶瓷头 耐磨 绝缘 制作 | ||
【权利要求书】：
1.14B陶瓷吸嘴，其特征在于：它包含陶瓷吸头、五金座、弹簧、五金外套管；所述的陶瓷吸头的一端安装在五金座内，弹簧设置在五金外套管内；所述的五金外套管与五金座固定连接。
2.根据权利要求1所述的14B陶瓷吸嘴，其特征在于：所述的五金外套管的端部设置有卡头，五金座的侧壁设置有凹槽，五金外套管与五金座通过卡头与凹槽配合卡接。
3.根据权利要求1所述的14B陶瓷吸嘴，其特征在于：所述的五金外套管内设置有台阶孔，弹簧设置在台阶孔内。
4.根据权利要求1所述的14B陶瓷吸嘴，其特征在于：所述的五金外套管的一端设置有用于安装真空泵密封管路的通孔。
5.根据权利要求1所述的14B陶瓷吸嘴，其特征在于：所述的弹簧起内缓冲作用，对被加工产品的结构给予了更深层次的保护，从而有效地提高了陶瓷吸头的使用寿命。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
