[发明专利]预设空腔防护墙型薄膜体声波谐振器及制备方法在审
| 申请号： | 201810343079.6 | 申请日： | 2018-04-17 |
| 公开（公告）号： | CN108566174A | 公开（公告）日： | 2018-09-21 |
| 发明（设计）人： | 蔡耀;唐楚滢;周杰;邹杨;孙成亮 | 申请（专利权）人： | 武汉大学 |
| 主分类号： | H03H3/02 | 分类号： | H03H3/02;H03H9/02;H03H9/10;H03H9/17 |
| 代理公司： | 武汉科皓知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 42222 | 代理人： | 张火春 |
| 地址： | 430072 湖*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明公开一种预设空腔防护墙型薄膜体声波谐振器及制备方法，所述薄膜体声波谐振器包括带预设空腔的SOI基片衬底和换能器堆叠结构；所述预设空腔由侧壁的防护墙和底部的防护底围成，所述防护墙和所述防护底用来保证SOI基片衬底不被过度腐蚀；所述换能器堆叠结构位于所述SOI基片衬底上、且与所述预设空腔相对；所述换能器堆叠结构上设有贯穿换能器堆叠结构、且与所述预设空腔相通的至少一释放通道。本发明可避免预设空腔腐蚀过程中的腐蚀不够和腐蚀过度，能够精准控制预设空腔的大小和形状，实现薄膜体声波谐振器的有效制备。 | ||
| 搜索关键词： | 预设空腔 薄膜体声波谐振器 堆叠结构 防护墙 换能器 衬底 腐蚀 制备 防护 精准控制 侧壁 底围 相通 释放 贯穿 保证 | ||
【主权项】：
1.预设空腔防护墙型薄膜体声波谐振器，其特征是，包括：带预设空腔的SOI基片衬底和换能器堆叠结构；所述预设空腔由侧壁的防护墙和底部的防护底围成，所述防护墙和所述防护底用来保证SOI基片衬底不被过度腐蚀；所述换能器堆叠结构位于所述SOI基片衬底上、且与所述预设空腔相对；所述换能器堆叠结构上设有贯穿换能器堆叠结构、且与所述预设空腔相通的至少一释放通道。
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