[发明专利]可拉伸柔性液池及其制作方法有效
申请号: | 201810340660.2 | 申请日: | 2018-04-17 |
公开(公告)号: | CN108562544B | 公开(公告)日: | 2020-11-03 |
发明(设计)人: | 毕可东;齐晗;赵伟玮;张洪泽;陈云飞 | 申请(专利权)人: | 东南大学 |
主分类号: | G01N21/03 | 分类号: | G01N21/03 |
代理公司: | 南京苏高专利商标事务所(普通合伙) 32204 | 代理人: | 柏尚春 |
地址: | 210000 江*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明公开了一种可拉伸柔性液池,包括上液池和下液池,上液池和下液池之间依次设有石墨烯层和衬底,衬底为柔性衬底,柔性衬底内设用于离子流动的通道;该可拉伸柔性液池的制作方法为:在基底上制作石墨烯层,在石墨烯层上制备柔性衬底,之后在柔性衬底中制作通道,去除基底,最后组装即得。本发明选用PDMS/PMMA双层膜或PDMS/SU‑8双层膜作为柔性衬底,能够在应变下有效进行石墨烯的离子电流检测,具有简单实用、成本较低等特点;使用电子束刻蚀法来实现石墨烯悬空在PDMS/PMMA双层膜或PDMS/SU‑8双层膜上的结构,既能保证石墨烯不会出现损伤,也能保证整个液池的完整性,不会出现渗漏。 | ||
搜索关键词: | 拉伸 柔性 及其 制作方法 | ||
【主权项】:
1.一种可拉伸柔性液池,包括上液池和下液池,所述上液池和下液池之间依次设有石墨烯层和衬底,其特征在于:所述衬底为柔性衬底,同时该柔性衬底内设用于离子流动的通道。
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