[发明专利]用于将纯化多相二氧化碳输送至处理工具的系统

摘要

用于按需求向基体供应超临界和亚临界相的二氧化碳以产生用于去除包含在基体中的污染物的创新和改善的清洁工序的二氧化碳供应方法和系统。该供应系统的在加工清洁工序期间以特定顺序在预定时间输送蒸气，液体和超临界二氧化碳的能力产生比常规二氧化碳清洁工序改善的去除来自基体的污染物。

主权项

1.一种用于输送超临界和非超临界相的二氧化碳以产生用于从基体表面去除污染物的定制清洁工序的方法，所述方法包括以下步骤：将溶剂流体引入包含所述基体的室中，所述溶剂流体包括处于超临界相的二氧化碳，其中所述超临界相混有助溶添加剂；将污染物从所述基体表面传递入所述超临界二氧化碳相中，以形成至少部分消耗的超临界相二氧化碳；将所述至少部分消耗的超临界二氧化碳相从所述室去除，并且同时将处于超临界相的新鲜的二氧化碳引入所述室中，以便稀释所述消耗的超临界二氧化碳并且基本阻止所述污染物沉淀在所述基体表面上，其中所述新鲜的二氧化碳包括溶于其中的添加助溶剂；随后将处于液体相的二氧化碳引入室；以及使所述二氧化碳液体相在所述基体表面上流动以冲刷并冲洗所述基体表面并且从而去除所述污染物和可能在所述清洁工序后留在所述基体表面上的所述助溶剂和所述添加助溶剂。