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[发明专利]基板处理装置、基板处理系统以及处理基板的方法-CN201410090605.4有效
发明人：赵庸真;高镛璿;金庆燮;金光秀;金石训;吴政玟;李根泽;张原浩;田溶明 -专利权人：三星电子株式会社
申请日： 2014-03-12 - 公布日： 2019-01-25 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：该基板处理系统可以包括构造为用超临界流体处理基板的处理装置以及构造为提供超临界流体到处理装置的供给装置。处理装置可以包括超临界工艺区和预超临界工艺区，在该超临界工艺区中基板用超临界流体处理，在预超临界工艺区中超临界流体膨胀然后被提供到超临界工艺区中以在超临界工艺区中产生超临界状态。
处理装置系统以及方法

[发明专利]基板处理装置、基板处理系统以及处理基板的方法-CN201811608953.0有效
发明人：赵庸真;高镛璿;金庆燮;金光秀;金石训;吴政玟;李根泽;张原浩;田溶明 -专利权人：三星电子株式会社
申请日： 2014-03-12 - 公布日： 2023-06-27 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：该基板处理系统可以包括构造为用超临界流体处理基板的处理装置以及构造为提供超临界流体到处理装置的供给装置。处理装置可以包括超临界工艺区和预超临界工艺区，在该超临界工艺区中基板用超临界流体处理，在预超临界工艺区中超临界流体膨胀然后被提供到超临界工艺区中以在超临界工艺区中产生超临界状态。
处理装置系统以及方法

[发明专利]一种表面处理的正极材料、表面处理方法及锂离子电池-CN201710533051.4在审
发明人：赛喜雅勒图;夏永高;刘兆平;王雪莹 -专利权人：宁波富理电池材料科技有限公司
申请日： 2017-07-03 - 公布日： 2017-11-07 - 主分类号： H01M4/485 文献下载
摘要：本发明提供了一种正极材料的制备方法，包括以下步骤将超临界物质与正极材料混合，进行反应，得到表面处理的正极材料；所述超临界物质包括超临界H2O、超临界N2O；超临界CO2、超临界N2、超临界氨、超临界乙醇、超临界乙烯、超临界乙烷、超临界丙烯、超临界丙烷和超临界正戊烷中的一种或几种；所述超临界物质与正极材料的摩尔比为(0.001～20)1。超临界物质能高效溶解杂质元素的无机盐，同时具有超高的传质特性能，能有效地穿过固体样品的空隙进行萃取分离，且不引起材料表面张力的变化，不会破坏材料的表面结构。
一种表面处理正极材料方法锂离子电池

[发明专利]双超核能动力系统及核能利用方法-CN202310057988.4在审
发明人：黄彦平;赵学斌;臧金光 -专利权人：中国核动力研究设计院
申请日： 2023-01-17 - 公布日： 2023-04-25 - 主分类号： G21C15/14 文献下载
摘要：本发明提供了一种双超核能动力系统及核能利用方法，该双超核能动力系统包括：超临界水冷堆、超临界水入口管路、超临界水出口管路、超临界二氧化碳循环系统、透平和中间换热器，超临界水入口管路的两端分别与超临界水冷堆和中间换热器的热侧连通，超临界水出口管路的两端分别与超临界水冷堆和中间换热器的热侧连通，超临界水经超临界水出口管路从超临界水冷堆流向中间换热器的热侧，并经超临界水入口管路循环流回超临界水冷堆；中间换热器的冷侧和透平均设置于超临界二氧化碳循环系统中，超临界二氧化碳流经超临界二氧化碳循环系统，从中间换热器的冷侧吸热，并进入透平做功，解决了超临界水冷堆放射性的屏蔽难度大，系统结构复杂的技术问题。
核能动力系统利用方法

[发明专利]600MW等级供热抽汽超临界汽轮机-CN201210206635.8无效
发明人：张秋鸿;石玉文;李宇峰;王洪鹏;翟玉琛;刘丽;尹茂成;刘娇;徐国林;李凡亭;王雪梅 -专利权人：哈尔滨汽轮机厂有限责任公司
申请日： 2012-06-21 - 公布日： 2012-10-03 - 主分类号： F01D1/00 文献下载
摘要：600MW等级供热抽汽超临界汽轮机，它涉及一种抽汽超临界汽轮机。该汽轮机现解决现有亚临界和超临界350MW供热抽汽式汽轮机热效率低的问题。超临界600MW抽汽高中压缸的一端与超临界600MW抽汽低压缸的一端之间设置有超临界600MW抽汽中轴承箱，超临界600MW抽汽低压缸的另一端设置有超临界600MW抽汽后轴承箱，超临界600MW抽汽高中压缸的另一端设置有超临界600MW抽汽前轴承箱，超临界600MW抽汽高中压缸的另一端通过超临界600MW抽汽中低压连通管与超临界600MW抽汽低压缸的一端连通，超临界600MW抽汽低压缸、超临界600MW抽汽前轴承箱、超临界600MW抽汽中轴承箱和超临界600MW抽汽后轴承箱分别独自落地。
600 mw 等级供热抽汽超临界汽轮机

[实用新型]600MW等级供热抽汽超临界汽轮机-CN201220293924.1有效
发明人：张秋鸿;石玉文;李宇峰;王洪鹏;翟玉琛;刘丽;尹茂成;刘娇;徐国林;李凡亭;王雪梅 -专利权人：哈尔滨汽轮机厂有限责任公司
申请日： 2012-06-21 - 公布日： 2012-12-12 - 主分类号： F01D13/02 文献下载
摘要：600MW等级供热抽汽超临界汽轮机，它涉及一种抽汽超临界汽轮机。该汽轮机现解决现有亚临界和超临界350MW供热抽汽式汽轮机热效率低的问题。超临界600MW抽汽高中压缸的一端与超临界600MW抽汽低压缸的一端之间设置有超临界600MW抽汽中轴承箱，超临界600MW抽汽低压缸的另一端设置有超临界600MW抽汽后轴承箱，超临界600MW抽汽高中压缸的另一端设置有超临界600MW抽汽前轴承箱，超临界600MW抽汽高中压缸的另一端通过超临界600MW抽汽中低压连通管与超临界600MW抽汽低压缸的一端连通，超临界600MW抽汽低压缸、超临界600MW抽汽前轴承箱、超临界600MW抽汽中轴承箱和超临界600MW抽汽后轴承箱分别独自落地。
600 mw 等级供热抽汽超临界汽轮机

[发明专利]基板处理设备及基板处理方法-CN202211078674.4在审
发明人：赵明赞 -专利权人：细美事有限公司
申请日： 2022-09-05 - 公布日： 2023-03-07 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：所述基板处理方法包括：将第一基板装载至超临界室中、并在所述超临界室中对所述第一基板进行超临界处理的第一超临界处理操作；将所述超临界室保持处于空状态长达第一时间、直至所述超临界室中的温度通过在将所述第一基板从所述超临界室卸除之后打开所述超临界室而变为默认温度的静止操作；及将第二基板装载至所述超临界室中、并在所述超临界室中对所述第二基板进行超临界处理的第二超临界处理操作。
处理设备方法

[发明专利]工件的超临界处理的方法和装置-CN00815298.5有效
发明人： M·A·比伯格;F·P·莱曼;T·R·苏顿 -专利权人：东京威力科创股份有限公司
申请日： 2000-11-01 - 公布日： 2003-02-26 - 主分类号： H01L21/00 文献下载
摘要：一种用于超临界处理和非超临界处理工件的装置包括一传送组件、一超临界处理组件、一非超临界处理组件和一机器人。该传送组件包括一入口。该超临界处理组件和非超临界处理组件连接到该传送组件上。在操作中，该机器人将工件从该传送组件的入口传送到该超临界处理组件中。在超临界处理后，该机器人将该工件从该超临界处理组件传送到该该非超临界处理组件中。在非超临界处理后，该机器人将该工件返回到该传送组件。作为选择，该非超临界处理可在该超临界处理之前实施。
工件临界处理方法装置

[发明专利]一种超临界流体萃喷造粒系统及方法-CN201310117684.9有效
发明人：全灿;李红梅;李海庭 -专利权人：中国计量科学研究院
申请日： 2013-04-07 - 公布日： 2013-07-24 - 主分类号： B01J2/02 文献下载
摘要：本发明涉及纳米颗粒领域中用到的一种提取及分离造粒的系统，进一步地说，是涉及一种超临界流体萃喷造粒系统及方法。本发明的系统包括超临界流体输送单元、超临界流体萃取单元、超临界流体造粒单元、超临界流体自控单元、实时检测单元；所述超临界流体输送单元出口连接所述超临界流体萃取单元的入口，所述超临界流体萃取单元出口连接所述超临界流体造粒单元的入口，所述超临界流体造粒单元上连接所述实时检测单元；所述超临界流体自控单元用于控制所述超临界流体输送单元、超临界流体萃取单元、超临界流体造粒单元、实时检测单元的运作。
一种临界流体萃喷造粒系统方法

[发明专利]一种超临界流体卷染工艺-CN201610031977.9有效
发明人：王威强;陈银;曲延鹏;刘燕;王胜德 -专利权人：山东大学
申请日： 2016-01-18 - 公布日： 2017-09-29 - 主分类号： D06B3/32 文献下载
摘要：本发明涉及纺织品染色领域，尤其涉及一种超临界流体卷染工艺。由超临界流体媒质液化储存子系统、超临界流体染色子系统中间蓄热子系统、加注控制子系统和管路实施。其工艺步骤包括1、超临界流体染色子系统初始化；2、超临界流体媒质加注和超临界化；3、超临界流体染色；4、超临界流体媒质回送和与剩余染料分离；5、残余超临界流体媒质排空；6、将染色后的被染物卸出。本发明提供的超临界流体卷染工艺，流程简便、设备投资小、运行费用低、准备时间短、超临界流体染色效率高。
一种临界流体卷染工艺

[发明专利]一种竖直上升光管内超临界水壁温查询表的建立方法-CN202010415143.4在审
发明人：李会雄;常福城;孙东峰;产文;冯宗蕊;雷贤良 -专利权人：西安交通大学
申请日： 2020-05-15 - 公布日： 2020-09-29 - 主分类号： G06F16/22 文献下载
摘要：本发明公开了一种竖直上升光管内超临界水壁温查询表的建立方法，包括以下步骤：1)获取若干竖直上升光管内超临界水壁温的实验数据；2)确定超临界水壁温查询表的网格点；3)收集超临界水传热关联式；4)确定超临界水壁温查询表的网格点附近的传热实验数据；5)确定超临界水壁温查询表网格点处的最优超临界传热关联式；6)利用步骤5)得到的超临界水壁温查询表网格点处的最优超临界传热关联式进行迭代计算，得超临界水壁温查询表各网格点的超临界水壁温，然后建立竖直上升光管内超临界水壁温查询表，该方法建立的超临界水壁温查询表的参数范围较广，可以预测不同工况下的管壁温，同时精度较高。
一种竖直上升光管内超临界水壁温查询建立方法

[实用新型]一种利用超临界机组实现高压缸抽汽供热热电联产系统-CN201621219734.X有效
发明人：刘延林;张加蓉;杨强;李毅;陈建华;邱艳;朱瑾;付焕兴 -专利权人：中国电力工程顾问集团西南电力设计院有限公司
申请日： 2016-11-14 - 公布日： 2017-05-03 - 主分类号： F01K11/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种利用超临界机组实现高压缸抽汽供热热电联产系统，包括超临界锅炉、超临界汽轮机高压缸、超临界汽轮机中压缸、超临界汽轮机低压缸和凝汽器，所述超临界锅炉对应连接超临界汽轮机高压缸和备用减温减压器，所述超临界汽轮机高压缸对应连接1号高压加热器、2号高压加热器和超临界锅炉再热器，所述超临界汽轮机中压缸对应连接中压联合调节阀和3号高压加热器，所述超临界汽轮机低压缸对应连接凝汽器。本实用新型采用超临界机组实现高压缸抽汽供热系统，实现热电联产，同时实现节能减排，减轻环保排放压力。
一种利用临界机组实现高压缸抽汽供热热电联产系统

[发明专利]一种超临界流体换热用复合管壳式换热器-CN202211667959.1在审
发明人：郭烈锦;欧国标;葛志伟;金辉;陈渝楠;程珂 -专利权人：西安交通大学
申请日： 2022-12-23 - 公布日： 2023-03-28 - 主分类号： F28D7/16 文献下载
摘要：本发明公开了一种超临界流体换热用复合管壳式换热器，前壳体上设有超临界水入口，后壳体上设有超临界水出口；前管箱上设有超临界流体入口，后管箱上设有超临界水第一出口，主壳体上设有超临界流体第二入口与超临界流体第二出口；运行过程中，高温超临界流体经前管箱流经内管，并从后管箱流出，然后由超临界流体第二入口进入主壳体并横掠换热管束，换热管环形空间的超临界水与内管及换热管外的超临界流体完成双重换热。
一种临界流体换热用复合管壳换热器

[发明专利]一种采用母管方式的超临界或超超临界燃煤发电系统-CN201610241041.9在审
发明人：李永生;刘建民;王卫良 -专利权人：国电科学技术研究院
申请日： 2016-04-18 - 公布日： 2016-07-13 - 主分类号： F01K11/02 文献下载
摘要：一种采用母管方式的超临界或超超临界燃煤发电系统，该系统至少包括两台超临界或超超临界汽轮机组、至少一台超临界或超超临界锅炉、给水母管和主蒸汽母管；每台超临界或超超临界汽轮机组分别通过该机组的汽轮机侧给水管道与给水母管连接，给水母管通过锅炉侧给水管道与每台超临界或超超临界锅炉连接，每台超临界或超超临界锅炉的主蒸汽出口通过锅炉侧主蒸汽管道与主蒸汽母管连接，主蒸汽母管再分别通过汽轮机侧主蒸汽管道与每台超临界或超超汽轮机组的高压缸连接本发明相对于普通两台亚临界改为超临界的技术方案，提高了机组的运行参数和系统效率，降低了机组的运行煤耗，大大节省了改造成本；同时也提高了机组的多方位可调节能力。
一种采用方式临界燃煤发电系统

[实用新型]一种采用母管方式的超临界或超超临界燃煤发电系统-CN201620324972.0有效
发明人：李永生;刘建民;王卫良 -专利权人：国电科学技术研究院
申请日： 2016-04-18 - 公布日： 2016-11-30 - 主分类号： F01K11/02 文献下载
摘要：一种采用母管方式的超临界或超超临界燃煤发电系统，该系统至少包括两台超临界或超超临界汽轮机组、至少一台超临界或超超临界锅炉、给水母管和主蒸汽母管；每台超临界或超超临界汽轮机组分别通过该机组的汽轮机侧给水管道与给水母管连接，给水母管通过锅炉侧给水管道与每台超临界或超超临界锅炉连接，每台超临界或超超临界锅炉的主蒸汽出口通过锅炉侧主蒸汽管道与主蒸汽母管连接，主蒸汽母管再分别通过汽轮机侧主蒸汽管道与每台超临界或超超汽轮机组的高压缸连接本实用新型相对于普通两台亚临界改为超临界的技术方案，提高了机组的运行参数和系统效率，降低了机组的运行煤耗，大大节省了改造成本；同时也提高了机组的多方位可调节能力。
一种采用方式临界燃煤发电系统

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