[发明专利]一种采用脉冲激光加工全息金光栅的装置及方法有效
申请号: | 201810324012.8 | 申请日: | 2018-04-12 |
公开(公告)号: | CN108549124B | 公开(公告)日: | 2020-10-02 |
发明(设计)人: | 李克武;王志斌;王爽;李晓 | 申请(专利权)人: | 中北大学 |
主分类号: | G02B5/18 | 分类号: | G02B5/18 |
代理公司: | 北京志霖恒远知识产权代理事务所(普通合伙) 11435 | 代理人: | 申绍中 |
地址: | 030051*** | 国省代码: | 山西;14 |
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摘要: | 本发明属于光栅加工技术研究领域,具体涉及一种采用脉冲激光加工全息金光栅的装置及方法,该装置包括脉冲激光器、扩束准直系统、第一反射镜、玻璃基底、角度调节间隔子、第二反射镜、电动位移平台和控制电脑,加工全息金光栅的方法采用固体脉冲激光器,并结合全息成像技术,利用等厚干涉的全息记录技术,使得加工的系统采用共光路结构,加工过程不需要对脉冲激光进行分光束干涉,提高了系统的稳定度,并且能够实现光栅刻线周期以及光栅面积的灵活调节,是一种稳定性好、加工效率高、光栅刻线周期及光栅面积可灵活调节的光栅加工技术。该光栅加工的装置及方法是基于脉冲激光和等厚干涉技术实现的。 | ||
搜索关键词: | 一种 采用 脉冲 激光 加工 全息 金光 装置 方法 | ||
【主权项】:
1.一种采用脉冲激光加工全息金光栅的装置,其特征在于:该装置包括脉冲激光器(1)、扩束准直系统(2)、第一反射镜(3)、玻璃基底(4)、角度调节间隔子(5)、第二反射镜(6)、电动位移平台(7)和控制电脑(8);所述沿脉冲激光器(1)、扩束准直系统(2)、第一反射镜(3)、玻璃基底(4)、第二反射镜(6)沿入射光路依次设置,玻璃基底(4)放置在第二反射镜(6)上,并采用角度调节间隔子(5)支撑一端,进而形成劈尖状;所述玻璃基底(4)单面镀金膜。
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