[发明专利]一种基于太赫兹技术的热障涂层的冲蚀形貌的测试方法

摘要

本发明提供一种基于太赫兹技术的热障涂层的冲蚀形貌的测试方法，包括利用反射式太赫兹时域光谱系统垂直发射太赫兹脉冲至一热障涂层，得到其时域光谱图；在图中提取前三次反射峰的时刻值，获取相邻两峰的时间延时；通过对前三次反射峰做傅里叶变换得到频域谱图，计算该热障涂层的陶瓷层的折射率和厚度；冲蚀热障涂层并扫描，利用时域光谱系统测量得到多个时域光谱图；在图中提取第一次反射峰的时刻值，并与上文的第一次反射峰的时刻值作差，根据差值计算热障涂层减薄的厚度；得到热障涂层的冲蚀形貌。本发明的测试方法省去测量热障涂层的折射率的步骤，且因为计算的是冲蚀后热障涂层减薄的厚度，无需利用热障涂层的折射率来计算，从而减小了误差。

主权项

1.一种基于太赫兹技术的热障涂层的冲蚀形貌的测试方法，用于测量一具有陶瓷层的热障涂层，其特征在于，包括：步骤S1：利用反射式太赫兹时域光谱系统垂直发射太赫兹脉冲至一完整的热障涂层，得到完整的热障涂层的该时域光谱图；步骤S2：在步骤S1所述的时域光谱图中提取完整的热障涂层的前三次反射峰的时刻值，获取完整的热障涂层的相邻两次反射峰的时间延时Δt；步骤S3：计算完整的热障涂层的陶瓷层的折射率n；步骤S4：计算热障涂层的陶瓷层的初始厚度D；步骤S5：取下所述热障涂层，对所述热障涂层进行冲蚀；步骤S6：扫描冲蚀后的热障涂层，利用反射式太赫兹时域光谱系统发射太赫兹脉冲并对应于该冲蚀后的热障涂层的连续多个测量点测量得到多个时域光谱图；步骤S7：在每个步骤S6所述的时域光谱图中分别提取冲蚀后的热障涂层的该测量点的第一次反射峰的时刻值，并与步骤S2提取的完整的热障涂层的第一次反射峰的时刻值作差得到差值ΔT，并根据该差值计算冲蚀后的热障涂层减薄的厚度ΔD；步骤S8：根据计算得到的ΔD值，绘制成折线图，得到热障涂层的冲蚀形貌。