[发明专利]硅基OLED微显示器的对位装置及制作系统在审
| 申请号： | 201810315763.3 | 申请日： | 2018-04-10 |
| 公开（公告）号： | CN108441815A | 公开（公告）日： | 2018-08-24 |
| 发明（设计）人： | 吴疆 | 申请（专利权）人： | 上海瀚莅电子科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C14/24;C23C14/54;H01L51/56 |
| 代理公司： | 苏州携智汇佳专利代理事务所(普通合伙) 32278 | 代理人： | 尹丽 |
| 地址： | 202150 上海市崇明区横沙乡富民*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种硅基OLED微显示器的对位装置，其包括硅基底、对位组件以及位于所述硅基底下方的掩膜板，所述对位组件包括位于所述硅基底上方的对位激光和位于所述掩膜板下方的激光定位件，所述对位激光与所述激光定位件相对设置，所述硅基底上开设有贯穿所述硅基底的第一孔，所述掩膜板上对应开设有第二孔，以便所述对位激光透过所述第一孔和第二孔，与所述激光定位件进行激光对位，进而实现所述硅基底与所述掩膜板的高精度对位，而且对位精度高、设备和人员成本低、工艺简单，可简化产业化过程。 | ||
| 搜索关键词： | 硅基 掩膜板 对位 激光定位 对位装置 对位组件 微显示器 激光 产业化过程 高精度对位 激光对位 激光透过 人员成本 相对设置 制作系统 贯穿 | ||
【主权项】：
1.一种硅基OLED微显示器的对位装置，包括硅基底、对位组件以及位于所述硅基底下方的掩膜板，其特征在于：所述对位组件包括位于所述硅基底上方的对位激光和位于所述掩膜板下方的激光定位件，所述对位激光与所述激光定位件相对设置，所述硅基底上开设有贯穿所述硅基底的第一孔，所述掩膜板上对应开设有第二孔，以便所述对位激光透过所述第一孔和第二孔，与所述激光定位件进行激光对位。
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