[发明专利]一种透明柔性全氧化物异质外延铁电薄膜及其制备方法有效
| 申请号： | 201810288647.7 | 申请日： | 2018-04-03 |
| 公开（公告）号： | CN108597875B | 公开（公告）日： | 2020-10-30 |
| 发明（设计）人： | 钟向丽;任传来;谭丛兵;李波;郭红霞;宋宏甲;廖敏 | 申请（专利权）人： | 湘潭大学 |
| 主分类号： | H01G7/06 | 分类号： | H01G7/06 |
| 代理公司： | 北京慕达星云知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 11465 | 代理人： | 李冉 |
| 地址： | 411100 湖南省湘*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种透明柔性全氧化物异质外延铁电薄膜及其制备方法，所述透明柔性全氧化物异质外延铁电薄膜由通过脉冲激光沉积技术依次形成在云母柔性透明衬底上的钇稳定的氧化锆缓冲层、氧化铟锡透明底电极以及锆钛酸铅铁电薄膜层构成。本发明提供的透明柔性全氧化物异质外延铁电薄膜，透光性好，柔性耐弯折，在反复受力条件下仍能保持良好的电学性能，具备优良的可靠性。且制备方法工艺简单、快捷、制程稳定、制造周期短，相比于其他方法可以更直接快速地得到透明柔性铁电薄膜，同时能够保证其优良的电学特性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 透明 柔性 氧化物 外延 薄膜 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
1.一种透明柔性全氧化物异质外延铁电薄膜，其特征在于，所述透明柔性全氧化物异质外延铁电薄膜由在云母柔性透明衬底上的钇稳定的氧化锆缓冲层、氧化铟锡透明底电极以及锆钛酸铅铁电薄膜层构成。
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