[发明专利]动量空间光谱测量系统有效
申请号: | 201810280357.8 | 申请日: | 2018-03-30 |
公开(公告)号: | CN108519155B | 公开(公告)日: | 2021-05-07 |
发明(设计)人: | 资剑;胡松婷;石磊;张译文;殷海玮;崔靖 | 申请(专利权)人: | 上海复享光学股份有限公司 |
主分类号: | G01J3/28 | 分类号: | G01J3/28;G01J3/02 |
代理公司: | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人: | 王茂华 |
地址: | 200433 上海市杨浦*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本发明公开了一种动量空间光谱测量系统。该动量空间光谱测量系统至少包括下述部件:物镜、光学透镜La、光学透镜Lb、光谱探测设备,光信号依次通过所述的物镜、所述的光学透镜La、所述的光学透镜Lb后由所述的光谱探测设备接收。本发明的动量空间光谱测量系统可用于测量和表征样品在动量空间中的光学信息,如带隙性质、能带结构、色散关系等。该系统可以实现显微区域样品的光学测量,最小测量空间范围可达1微米;同时实现动量空间与频率空间的高分辨率测量,对应于频率空间的波长分辨率可低于0.05nm。该系统能够对样品的测量的空间区域进行精确选择,并可进一步用于探测样品不同位置的空间相干性信息。 | ||
搜索关键词: | 动量 空间 光谱 测量 系统 | ||
【主权项】:
1.一种动量空间光谱测量系统,其特征在于,至少包括下述部件:物镜、光学透镜La、光学透镜Lb、光谱探测设备,物镜、光学透镜La、光学透镜Lb、光谱探测设备沿同一光轴布置,使光信号依次通过所述的物镜、所述的光学透镜La、所述的光学透镜Lb后由所述的光谱探测设备接收;在物镜后放置光学透镜La,在光学透镜La后放置光学透镜Lb,使物镜的后焦平面在光学透镜Lb后第一次成像,形成后焦平面第一次成像面M1;将光谱探测设备的入光口放置于所述的光学透镜Lb后的后焦平面第一次成像面M1处;光学透镜La与物镜的后焦平面M0的距离D1满足以下条件:0≤D1≤2fLa光学透镜Lb与光学透镜La的距离Dab满足以下条件:fLa<Dab≤2fLb+fLa其中,fLa表示光学透镜La的焦距;fLb表示光学透镜Lb的焦距。
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