[发明专利]振动测定装置以及方法、缺陷检查装置以及方法

摘要

本发明提供能均匀地检查被检查物体的测定区域的振动测定装置，具备：对对象物体激发振动的激振部；激光源；将激光源的光照射到测定区域的一部分区域、并使照射区域在测定区域内移动的扫描部；对测定区域的各点依次照射将照明时间宽度设为了振动的周期的1/3以下的激光的照射控制部；位移测定部，其对将来自对象物体的物体光分割成两份而得的两个光束设置角度差而使它们发生干涉，对测定区域的各点测定由此得到的干涉光，测定照射区域内的接近的2点间的相对前后方向的位移；及振动状态决定部，其基于测定区域的各点的与相位同步的时刻的振动的1个周期内的不同的3点以上的时刻的接近2点间的前后方向的位移，决定测定区域整体的振动状态。

主权项

1.一种振动测定装置，其特征在于，具备：a)激振部，其对对象物体激发振动；b)激光源；c)扫描部，其将来自所述激光源的光照射到所述对象物体的表面的测定区域的一部分区域，并使该照射区域在该测定区域内移动；d)照射控制部，其通过控制所述激振部、所述激光源和所述扫描部，在与所述振动的相位同步的时刻，对所述测定区域的各点依次地照射将照明时间宽度设为了所述振动的周期的1/3以下的激光；e)位移测定部，其对将从所述对象物体反射来的物体光分割成两份而得到的两个光束设置角度差而使该两个光束发生干涉，针对所述测定区域的各点测定由此得到的干涉光，从而测定该照射区域内的接近的2点间的相对的前后方向的位移；以及f)振动状态决定部，其基于所述测定区域的各点的与所述相位同步的时刻的、所述振动的1个周期内的不同的3点以上的时刻的接近的2点间的前后方向的位移，决定所述测定区域整体的振动的状态。