[发明专利]振动测定装置以及方法、缺陷检查装置以及方法

权利要求书

1.一种振动测定装置，其特征在于，具备：

a)激振部，其对对象物体激发振动；

b)激光源；

c)扫描部，其将来自所述激光源的光照射到所述对象物体的表面的测定区域的一部分区域，并使该照射区域在该测定区域内移动；

d)照射控制部，其通过控制所述激振部、所述激光源和所述扫描部，在与所述振动的相位同步的时刻，对所述测定区域的各点依次地照射将照明时间宽度设为了所述振动的周期的1/3以下的激光；

e)位移测定部，其对将从所述对象物体反射来的物体光分割成两份而得到的两个光束设置角度差而使该两个光束发生干涉，针对所述测定区域的各点测定由此得到的干涉光，从而测定该照射区域内的接近的2点间的相对的面外方向的位移；以及

f)振动状态决定部，其基于所述测定区域的各点的与所述相位同步的时刻的、所述振动的1个周期内的不同的3点以上的时刻的接近的2点间的面外方向的位移，决定所述测定区域整体的振动的状态。

2.根据权利要求1所述的振动测定装置，其特征在于，

所述照射区域的面积处于所述测定区域的面积的五十分之一至八分之一的范围内。

3.根据权利要求1所述的振动测定装置，其特征在于，

所述扫描部对所述照射区域的扫描频率是所述振动的振动频率的1/m，其中m是1以上的自然数。

4.根据权利要求1所述的振动测定装置，其特征在于，

与所述相位同步的时刻的数量是[2n+1]以上，根据所述测定区域的各点的面外方向的位移，检测所述振动的n次的高次谐波分量，其中n是2以上的自然数。

5.根据权利要求1所述的振动测定装置，其特征在于，

所述激光源的点亮时间宽度是所述振动的周期的1/3以上。

6.根据权利要求1所述的振动测定装置，其特征在于，

所述激光源有多个，从各个激光源向所述对象物体的表面的测定区域的相互不同的一部分区域照射，并使该照射区域在该测定区域内移动。

7.一种振动测定装置，其特征在于，具备：

a)激振部，其对对象物体激发振动；

b)激光源；

c)扫描部，其将来自所述激光源的光照射到所述对象物体的表面的测定区域的一部分区域，并使该照射区域在该测定区域内移动；

d)照射控制部，其通过控制所述激振部、所述激光源和所述扫描部，在与所述振动的相位同步的时刻，对所述测定区域的各点依次地照射将照明时间宽度设为了所述振动的周期的1/3以下的激光；

e)干涉光测定部，其针对所述测定区域的各点，测定在将所述激光照射到所述照射区域之前分割出来的参照光与由于所述照射而从该点反射来的物体光的干涉光；

f)位移测定部，其针对所述测定区域的各点，使所述参照光与所述物体光的光程差以与所述激光的波长相应的距离发生变化，从而测定该点的面外方向的位移；以及

g)振动状态决定部，其基于所述测定区域的各点的与所述相位同步的时刻的、所述振动的1个周期内的不同的3点以上的时刻的面外方向的位移，决定所述测定区域整体的振动的状态。

8.根据权利要求7所述的振动测定装置，其特征在于，

所述照射区域的面积处于所述测定区域的面积的五十分之一至八分之一的范围内。

9.根据权利要求7所述的振动测定装置，其特征在于，

所述扫描部对所述照射区域的扫描频率是所述振动的振动频率的1/m，其中m是1以上的自然数。

10.根据权利要求7所述的振动测定装置，其特征在于，

与所述相位同步的时刻的数量是[2n+1]以上，根据所述测定区域的各点的面外方向的位移，检测所述振动的n次的高次谐波分量，其中n是2以上的自然数。