[发明专利]一种气浮精密运动平台

摘要

本发明公开了一种气浮精密运动平台，真空吸附平台安装在底座的运动轨道上；真空吸附平台通过第一过渡板与直线电机固定连接；直线电机安装在底座上；内置真空发生器设置在真空吸附平台内部；气浮轴承镶嵌在真空吸附平台的底部与两侧；外接真空发生器与真空吸附平台可拆卸连接；真空吸附平台内部设置有第一气路和第二气路，第一气路与内置真空发生器连通，用于吸附工件；第二气路分别与外接真空发生器和气浮轴承连通，用于在真空吸附平台与底座之间产生气膜。解决了现有的超精密磨削机床容易因机械导轨与平台之间存在摩擦和热变形而导致定位和运动精度降低，从而影响工件加工精度的技术问题。

主权项

1.一种气浮精密运动平台，其特征在于，包括：底座、直线电机、第一过渡板、真空吸附平台、内置真空发生器、气浮轴承和外接真空发生器；所述真空吸附平台安装在所述底座的运动轨道上；所述真空吸附平台通过所述第一过渡板与所述直线电机固定连接；所述直线电机安装在所述底座上；所述内置真空发生器设置在所述真空吸附平台内部；所述气浮轴承镶嵌在所述真空吸附平台的底部与两侧；所述外接真空发生器与所述真空吸附平台可拆卸连接；所述真空吸附平台内部设置有第一气路和第二气路，所述第一气路与所述内置真空发生器连通，用于吸附工件；所述第二气路分别与所述外接真空发生器和所述气浮轴承连通，用于在所述真空吸附平台与所述底座之间产生气膜，在所述真空吸附平台底部形成真空负压。