[发明专利]一种气浮精密运动平台

说明书

本发明公开了一种气浮精密运动平台，真空吸附平台安装在底座的运动轨道上；真空吸附平台通过第一过渡板与直线电机固定连接；直线电机安装在底座上；内置真空发生器设置在真空吸附平台内部；气浮轴承镶嵌在真空吸附平台的底部与两侧；外接真空发生器与真空吸附平台可拆卸连接；真空吸附平台内部设置有第一气路和第二气路，第一气路与内置真空发生器连通，用于吸附工件；第二气路分别与外接真空发生器和气浮轴承连通，用于在真空吸附平台与底座之间产生气膜。解决了现有的超精密磨削机床容易因机械导轨与平台之间存在摩擦和热变形而导致定位和运动精度降低，从而影响工件加工精度的技术问题。

技术领域

本发明涉及工件加工机构技术领域，尤其涉及一种气浮精密运动平台。

背景技术

随着我国精密和超精密加工发展策略的实施和经过多年的努力，不论是精密机床、金刚石工具，还是精密加工工艺，都已经形成了一整套完整的精密制造技术系统，为推动机械制造向更高层次发展奠定了基础。随着科学技术的飞速发展和市场竞争日益激烈，越来越多的制造业开始将大量的人力、财力和物力投入先进的制造技术和先进的制造模式的研究和实施策略之中。

磨床是一种利用磨具对工件表面进行磨削加工的机床。磨床能加工硬度较高的材料，如淬硬钢、硬质合金等；也能加工脆性材料，如玻璃、花岗石。磨床能作高精度和表面粗糙度很小的磨削，也能进行高效率的磨削。

近年来，光纤通讯行业发展一场迅速，用于光纤之间对接的光纤连接器，其主要组成部分是V型槽结构，V型槽的加工精度直接影响到光纤连接器的性能。目前，对光纤连接器的专用超精密磨削机床的研究尚处于起步阶段，现超精密磨削机床的X轴为机械导轨和直线电机驱动，且导轨和真空吸附平台分开，这种方式容易因机械导轨与平台之间存在摩擦和热变形等原因而导致定位和运动精度降低，从而影响到加工件的加工精度。

发明内容

本发明提供了一种气浮精密运动平台，用于解决现有的超精密磨削机床容易因机械导轨与平台之间存在摩擦和热变形而导致定位和运动精度降低，从而影响工件加工精度的技术问题。

本发明提供的一种气浮精密运动平台，包括：底座、直线电机、第一过渡板、真空吸附平台、内置真空发生器、气浮轴承和外接真空发生器；

所述真空吸附平台安装在所述底座的运动轨道上；

所述真空吸附平台通过所述第一过渡板与所述直线电机固定连接；

所述直线电机安装在所述底座上；

所述内置真空发生器设置在所述真空吸附平台内部；

所述气浮轴承镶嵌在所述真空吸附平台的底部与两侧；

所述外接真空发生器与所述真空吸附平台可拆卸连接；

所述真空吸附平台内部设置有第一气路和第二气路，所述第一气路与所述内置真空发生器连通，用于吸附工件；

所述第二气路分别与所述外接真空发生器和所述气浮轴承连通，用于在所述真空吸附平台与所述底座之间产生气膜，在所述真空吸附平台底部形成真空负压。

优选地，所述真空吸附平台包括：所述内置真空发生器、开关阀门和压力表；

所述开关阀门设置在所述真空吸附平台内部，通过所述第一气路与所述真空吸附平台的第二侧面的第一进气口连接，所述开关阀门的控制拨杆设置在所述真空吸附平台的第一侧面上，用于控制气体从所述第一进气口进入所述真空吸附平台内部；

所述压力表安装在所述真空吸附平台的第一侧面上并与所述第一气路连通，用于检测所述第一气路的压力大小值。

优选地，所述镶嵌有气浮轴承的所述真空吸附平台的两侧面均设置有第二进气口，所述第二进气口与所述第二气路连通。