[发明专利]一种气浮精密运动平台

权利要求书

1.一种气浮精密运动平台，其特征在于，包括：底座、直线电机、第一过渡板、真空吸附平台、内置真空发生器、气浮轴承和外接真空发生器；

所述真空吸附平台安装在所述底座的运动轨道上；

所述真空吸附平台通过所述第一过渡板与所述直线电机固定连接；

所述直线电机安装在所述底座上；

所述内置真空发生器设置在所述真空吸附平台内部；

所述气浮轴承镶嵌在所述真空吸附平台的底部与两侧；

所述外接真空发生器与所述真空吸附平台可拆卸连接；

所述真空吸附平台内部设置有第一气路和第二气路，所述第一气路与所述内置真空发生器连通，用于吸附工件；

所述第二气路分别与所述外接真空发生器和所述气浮轴承连通，用于在所述真空吸附平台与所述底座之间产生气膜，在所述真空吸附平台底部形成真空负压。

2.根据权利要求1所述的气浮精密运动平台，其特征在于，所述真空吸附平台包括：所述内置真空发生器、开关阀门和压力表；

所述开关阀门设置在所述真空吸附平台内部，通过所述第一气路与所述真空吸附平台的第二侧面的第一进气口连接，所述开关阀门的控制拨杆设置在所述真空吸附平台的第一侧面上，用于控制气体从所述第一进气口进入所述真空吸附平台内部；

所述压力表安装在所述真空吸附平台的第一侧面上并与所述第一气路连通，用于检测所述第一气路的压力大小值。

3.根据权利要求2所述的气浮精密运动平台，其特征在于，所述镶嵌有气浮轴承的所述真空吸附平台的两侧面均设置有第二进气口，所述第二进气口与所述第二气路连通。

4.根据权利要求3所述的气浮精密运动平台，其特征在于，所述真空吸附平台的第四侧面设置有第三进气口，所述真空吸附平台第二侧面设置有与所述第三进气口相对应的第一出气口，所述第三进气口、所述第二进气口与所述第一出气口之间形成所述第二气路。

5.根据权利要求4所述的气浮精密运动平台，其特征在于，所述真空吸附平台上表面设置有与所述第一气路相连通的第一气孔，用于吸附加工工件。

6.根据权利要求4所述的气浮精密运动平台，其特征在于，所述真空吸附平台下表面设置有与所述第二气路相连通的第二气孔，用于在所述外接真空发生器对所述第二气路进行抽真空时产生真空负压。

7.根据权利要求1所述的气浮精密运动平台，其特征在于，还包括：光栅尺、读数头、光栅尺固定板和第二过渡板；

所述光栅尺安装在所述光栅尺固定板上；

所述光栅尺固定板固定在所述底座上；

所述读数头与所述第二过渡板固定连接；

所述读数头的移动方向与所述光栅尺平行；

所述第二过渡板与所述第一过渡板固定连接。

8.根据权利要求1所述的气浮精密运动平台，其特征在于，所述底座为大理石底座。

9.根据权利要求1所述的气浮精密运动平台，其特征在于，所述气浮轴承为石墨气浮轴承。

10.根据权利要求2所述的气浮精密运动平台，其特征在于，还包括：消声器；所述消声器设置在所述真空吸附平台内部并与所述内置真空发生器连接。