[发明专利]一种便携式动态比较正压漏孔校准装置及方法

摘要

本发明涉及一种便携式动态比较正压漏孔校准装置及方法，属于测量领域。所述装置包括十个阀门、参考正压漏孔、两个温度传感器、稳压室、毛细管、限流小孔、恒温室、待校准正压漏孔、质谱计、机械泵、分子泵、质谱分析室以及四个真空计；质谱分析室内中部设有限流小孔；机械泵和分子泵构成抽真空系统。还提供了一种基于所述装置的校准方法。通过设计恒温室，减小了不同时间参考正压漏孔与待校准正压漏孔气体累积时不同的温度对待校准正压漏孔校准可能的影响，保证校准准确度；稳压室体积小，重量低；参考正压漏孔与待校准正压漏孔累积的气体膨胀后用毛细管衰减压力，可满足分子流动态进样条件，所述装置和方法可以实现正压漏孔的现场校准。

主权项

1.一种便携式动态比较正压漏孔校准装置，其特征在于：所述装置主要组成部件包括第一阀门(1)、第二阀门(2)、参考正压漏孔(3)、第一温度传感器(4)、第三阀门(5)、第四阀门(6)、稳压室(7)、第五阀门(8)、毛细管(9)、第六阀门(10)、限流小孔(11)、恒温室(12)、第七阀门(13)、待校准正压漏孔(14)、第二温度传感器(15)、第八阀门(16)、第九阀门(17)、质谱计(18)、机械泵(19)、分子泵(20)、第十阀门(21)、质谱分析室(22)、第一真空计(23)、第二真空计(24)、第三真空计(25)和第四真空计(26)；质谱分析室(22)内中部设有限流小孔(11)；机械泵(19)和分子泵(20)共同构成抽真空系统；第二阀门(2)、参考正压漏孔(3)、第一温度传感器(4)、第三阀门(5)、第七阀门(13)、待较准正压漏孔、第二温度传感器(15)和第八阀门(16)位于恒温室(12)内，第一阀门(1)、第四阀门(6)、稳压室(7)、第五阀门(8)、毛细管(9)、第六阀门(10)、限流小孔(11)、第九阀门(17)、质谱计(18)、机械泵(19)、分子泵(20)、第十阀门(21)、质谱分析室(22)、第一真空计(23)、第二真空计(24)、第三真空计(25)和第四真空计(26)位于恒温室(12)外；第一阀门(1)入口端通过管路与气源连接，第一阀门(1)的出口端连接的管路分为主支路A和主支路B，主支路A上连接有第一真空计(23)，在第一真空计(23)后方主支路A入口端分为两条次支路，一条次支路将第二阀门(2)、参考正压漏孔(3)和第三阀门(5)依次串联连接，第一温度传感器(4)与参考正压漏孔(3)连接，另一条次支路将第七阀门(13)、待较准正压漏孔和第八阀门(16)依次串联连接，第二温度传感器(15)与待较准正压漏孔连接，两条次支路汇合后形成主支路A的出口端，主支路A的出口端与主支路B汇合形成一条管路与第四阀门(6)入口端连接，主支路A和主支路B汇合后形成的管路上设有第二真空计(24)，第四阀门(6)出口端通过管路与稳压室(7)入口端连接，稳压室(7)出口端通过一条管路将第九阀门(17)和机械泵(19)串联连接，稳压室(7)出口端通过另一条管路依次将第五阀门(8)、毛细管(9)、第六阀门(10)、质谱分析室(22)、第十阀门(21)、分子泵(20)和机械泵(19)串联连接，稳压室(7)出口端连接的两条管路在与机械泵(19)连接前汇合为一条管路后再与机械泵(19)连接，毛细管(9)和第六阀门(10)之间的管路上连接有第三真空计(25)，质谱计(18)和第四真空计(26)位于质谱分析室(22)外，并分别与质谱分析室(22)中限流小孔(11)前方的空间相连。