[发明专利]一种真空镀膜设备和方法在审
| 申请号： | 201810257051.0 | 申请日： | 2018-03-27 |
| 公开（公告）号： | CN108374159A | 公开（公告）日： | 2018-08-07 |
| 发明（设计）人： | 王俊明 | 申请（专利权）人： | 北京航天微电科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/56 | 分类号： | C23C14/56;C23C14/54;C23C14/50 |
| 代理公司： | 北京轻创知识产权代理有限公司 11212 | 代理人： | 杨立 |
| 地址： | 100854*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明实施例涉及一种真空镀膜设备和方法，属于材料表面处理技术领域。其中，该设备包括：包括坩埚、镀锅、行星架，且设备还包括：承片架组件、动力组件和控制器；其中，承片架组件包括：承片架本体，固定件，以及通过固定件与承片架本体固定转动连接的挡板；挡板用于：遮挡承片架本体上的n个待镀膜产品，其中，0＜n＜m，m为承片架本体上的待镀膜产品的总数量；动力组件用于：当接收到控制器发送的控制信号时，根据控制信号控制挡板进行转动。通过本实施例提供的技术方案，实现了在真空状态，不打开舱门的情况下，对不同膜厚的产品或不同类型的产品进行镀膜处理，节约了成本，节省了时间，提高了效率的技术效果。 | ||
| 搜索关键词： | 承片架 真空镀膜设备 挡板 动力组件 镀膜产品 控制信号 控制器 固定件 材料表面处理技术 镀膜处理 技术效果 控制挡板 真空状态 转动连接 组件包括 行星架 舱门 镀锅 膜厚 坩埚 遮挡 转动 发送 节约 | ||
【主权项】：
1.一种真空镀膜设备，所述设备包括坩埚、镀锅、行星架，其特征在于，所述设备还包括：承片架组件、动力组件和控制器；其中，所述承片架组件包括：承片架本体，固定件，以及通过所述固定件与所述承片架本体转动连接的挡板；所述挡板用于：遮挡所述承片架本体上的n个待镀膜产品，其中，0＜n＜m，m为所述承片架本体上的待镀膜产品的总数量；所述动力组件用于：当接收到所述控制器发送的控制信号时，根据所述控制信号控制所述挡板进行转动。
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