[发明专利]接触模式微加速度计有效
| 申请号： | 201810253047.7 | 申请日： | 2018-03-26 |
| 公开（公告）号： | CN108490217B | 公开（公告）日： | 2020-08-25 |
| 发明（设计）人： | 李凯;彭志辉 | 申请（专利权）人： | 温州大学 |
| 主分类号： | G01P15/125 | 分类号： | G01P15/125 |
| 代理公司： | 温州金瓯专利事务所(普通合伙) 33237 | 代理人： | 陈晖 |
| 地址： | 325000 浙江省温州市瓯海*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 一种接触模式微加速度计。它包括下基底、上基底，下基底和上基底之间设有支撑柱、薄板与其若干支撑梁及梁的锚点，所述下基底、上基底分别设有下、上定电极，所述定电极表面覆盖设有若干条凸起的绝缘层，所述薄板的下、上表面分别设有下、上动电极，所述微加速度计具有薄板与动电极受力发生变形但未与绝缘层接触的第一工作状态及薄板与动电极受力变形并与绝缘层接触的第二工作状态。本发明利用加速度力引起动电极变形从而改变其与定电极间电容的原理进行工作。本发明通过位于定电极上的绝缘层防止动、定电极的短路，并由绝缘层提供对活动结构的支撑，故能实现高加速度的测量，梁‑圆形薄板组合结构能有效抑制传感器的电容饱和，绝缘层上凸起能有效抑制滞后误差。 | ||
| 搜索关键词： | 接触 模式 加速度计 | ||
【主权项】：
1.一种接触模式微加速度计，包括：下基底（1）、上基底（8），下基底（1）和上基底（8）之间设有支撑柱（12）、薄板（5）与其若干支撑梁（6）及其梁的锚点（7），其特征在于：所述下基底（1）、上基底（8）分别设有下定电极（2）、上定电极（9），所述下定电极（2）、上定电极（9）表面分别覆盖有下绝缘层（3）、上绝缘层（10），所述薄板（5）的下、上表面分别设有下动电极（4）、上动电极（11），所述微加速度计具有薄板（5）与下、上动电极（4、11）同时受力发生变形但未与下绝缘层（3）或上绝缘层（10）接触的第一工作状态及薄板（5）与下、上动电极（4、11）同时受力变形并与下绝缘层（3）或上绝缘层（10）接触的第二工作状态。
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