[发明专利]接触模式微加速度计

权利要求书

1.一种接触模式微加速度计，包括：下基底（1）、上基底（8），下基底（1）和上基底（8）之间设有支撑柱（12）、薄板（5）与其若干支撑梁（6）及其梁的锚点（7），其特征在于：所述下基底（1）、上基底（8）分别设有下定电极（2）、上定电极（9），所述下定电极（2）、上定电极（9）表面分别覆盖有下绝缘层（3）、上绝缘层（10），所述薄板（5）的下、上表面分别设有下动电极（4）、上动电极（11），所述下、上绝缘层（3、10）表面设有若干条凸起，所述微加速度计具有薄板（5）与下、上动电极（4、11）同时受力发生变形但未与下绝缘层（3）或上绝缘层（10）接触的第一工作状态及薄板（5）与下、上动电极（4、11）同时受力变形并与下绝缘层（3）或上绝缘层（10）接触的第二工作状态。

2.根据权利要求1所述的一种接触模式微加速度计，其特征在于：所述薄板（5）上设有若干通孔。

3.根据权利要求1或2所述的一种接触模式微加速度计，其特征在于：所述薄板（5）为圆形薄板，与所述支撑梁（6）构成活动结构，支撑梁（6）在圆形薄板（5）的边缘均匀分布。

4.根据权利要求3所述的一种接触模式微加速度计，其特征在于：所述薄板（5）上的下、上动电极（4、11）与薄板（5）形状相同，为圆形，所述下、上基底（1、8）上的下、上定电极（2、9）也相应为圆形。

5.根据权利要求1所述的接触模式微加速度计，其特征是：在所测加速度非零的情况下即进入所述第一工作状态，圆形薄板（5）及下、上动电极（4、11）发生变形。

6.根据权利要求1所述的接触模式微加速度计，其特征是：当所测加速度值达到阈值后即进入所述第二工作状态，下动电极（4）或上动电极（11）与下绝缘层（3）或上绝缘层（10）发生接触，且接触面积随着加速度的增大而增大。

7.根据权利要求1所述的接触模式微加速度计，其特征是：位于圆形薄板（5）上的两个动电极（4、11）与分别位于下、上基底上的两个定电极（2、9）构成两个可变电容，并由这两个可变电容构成可变差分电容。