[发明专利]工业机器人

摘要

本发明提供一种工业机器人，能改变供基板装载并且配置成在上下方向上重叠的多个装载部在上下方向上的间隔，并能容易地调节多个装载部各自在上下方向上的位置。在上述工业机器人中，基板装载机构包括：具有供基板装载并且配置成在上下方向上重叠的装载部(12～15)的多个手(18～21)；以及改变多个装载部(12～15)在上下方向上的间隔的间距改变机构(30)。间距改变机构(30)包括成为手(18～21)与柄构件(41)的连接部的手连接部(42)，手连接部(42)包括：能旋转地安装于柄构件(41)的辊(44)；以及安装于手(18～21)并且朝水平方向引导辊(44)的引导构件(45)。引导构件(45)安装成能相对于手(18～21)在上下方向上调节位置。

主权项

1.一种工业机器人，从以规定间距层叠收容有多个基板的收容部搬出所述基板，其特征在于，包括基板装载机构，所述基板装载机构供多个所述基板装载，所述基板装载机构包括：多个手，多个所述手具有装载部，所述装载部供所述基板装载并且配置成在上下方向上重叠；底座构件，所述底座构件在从所述收容部搬出所述基板时与多个所述手一起移动；以及间距改变机构，所述间距改变机构改变多个所述装载部在上下方向上的间隔，所述手能相对于所述底座构件在上下方向上相对移动，所述间距改变机构包括：支点轴，所述支点轴配置成以所述基板从所述收容部搬出的搬出方向为轴向；柄构件，所述柄构件供多个所述手连接，并且以所述支点轴为转动中心转动；多个手连接部，多个所述手连接部配置于沿所述柄构件的长边方向离开所述支点轴规定距离的位置，并且成为所述手与所述柄构件的连接部；以及驱动机构，所述驱动机构用于使所述柄构件转动，所述驱动机构包括直动构件，所述直动构件在上下方向上直线移动，所述柄构件随着所述直动构件的上下移动以所述支点轴为中心转动，所述手连接部包括：辊，所述辊能旋转地安装于所述柄构件并且以所述搬出方向为旋转的轴向旋转；以及引导构件，所述引导构件安装于所述手并具有引导部，所述引导部朝与所述搬出方向和上下方向正交的方向引导所述辊，所述引导构件安装成能相对于所述手在上下方向上调节位置。