[发明专利]工业机器人

权利要求书

1.一种工业机器人，

从以规定间距层叠收容有多个基板的收容部搬出所述基板，其特征在于，

包括基板装载机构，所述基板装载机构供多个所述基板装载，

所述基板装载机构包括：多个手，多个所述手具有装载部，所述装载部供所述基板装载并且配置成在上下方向上重叠；底座构件，所述底座构件在从所述收容部搬出所述基板时与多个所述手一起移动；以及间距改变机构，所述间距改变机构改变多个所述装载部在上下方向上的间隔，

所述手能相对于所述底座构件在上下方向上相对移动，

所述间距改变机构包括：支点轴，所述支点轴配置成以所述基板从所述收容部搬出的搬出方向为轴向；柄构件，所述柄构件供多个所述手连接，并且以所述支点轴为转动中心转动；多个手连接部，多个所述手连接部配置于沿所述柄构件的长边方向离开所述支点轴规定距离的位置，并且成为所述手与所述柄构件的连接部；以及驱动机构，所述驱动机构用于使所述柄构件转动，

所述驱动机构包括直动构件，所述直动构件在上下方向上直线移动，

所述柄构件随着所述直动构件的上下移动以所述支点轴为中心转动，

所述手连接部包括：辊，所述辊能旋转地安装于所述柄构件并且以所述搬出方向为旋转的轴向旋转；以及引导构件，所述引导构件安装于所述手并具有引导部，所述引导部朝与所述搬出方向和上下方向正交的方向引导所述辊，

所述引导构件安装成能相对于所述手在上下方向上调节位置。

2.如权利要求1所述的工业机器人，其特征在于，

所述引导构件被固定用螺钉固定于所述手，

所述引导构件形成有插通孔，所述插通孔供所述固定用螺钉的轴部插通，

所述插通孔是内径比所述固定用螺钉的轴部的外径大的圆孔，或是以上下方向为长边方向的长孔。

3.如权利要求1或2所述的工业机器人，其特征在于，

所述基板装载机构包括调节用螺钉，所述调节用螺钉用于对所述引导构件相对于所述手在上下方向上的位置进行调节。

4.如权利要求3所述的工业机器人，其特征在于，

所述基板装载机构包括螺钉保持构件，所述螺钉保持构件固定于所述手，并且对所述调节用螺钉进行保持，

所述螺钉保持构件配置于比所述引导构件靠上侧的位置，

所述引导构件形成有螺纹孔，所述螺纹孔供所述调节用螺钉螺合。

5.如权利要求1、2、4中任一项所述的工业机器人，其特征在于，

所述手形成有引导槽，所述引导槽用以朝上下方向引导所述引导构件。

6.如权利要求1、2、4中任一项所述的工业机器人，其特征在于，

包括：第一臂和第二臂；主体部，所述第一臂的基端侧和所述第二臂的基端侧能转动地连接于所述主体部；以及第二手，所述第二手具有第二装载部，所述第二装载部供所述基板装载，并且能配置成与所述装载部在上下方向上重叠，

所述底座构件能转动地连接于所述第一臂的前端侧，

所述第二手能转动地连接于所述第二臂的前端侧。

7.如权利要求6所述的工业机器人，其特征在于，

所述基板装载机构包括多个上手和多个下手以作为所述手，其中，多个所述上手具有配置于比所述第二装载部靠上侧的位置的所述装载部，多个所述下手具有配置于比所述第二装载部靠下侧的位置的所述装载部。

8.如权利要求1、2、4、7中任一项所述的工业机器人，其特征在于，

所述驱动机构包括：马达；螺纹轴，所述螺纹轴利用所述马达的动力旋转；以及螺母，所述螺母安装于所述直动构件并与所述螺纹轴卡合。