[发明专利]工业机器人

说明书

本发明提供一种工业机器人，能改变供基板装载并且配置成在上下方向上重叠的多个装载部在上下方向上的间隔，并能容易地调节多个装载部各自在上下方向上的位置。在上述工业机器人中，基板装载机构包括：具有供基板装载并且配置成在上下方向上重叠的装载部(12～15)的多个手(18～21)；以及改变多个装载部(12～15)在上下方向上的间隔的间距改变机构(30)。间距改变机构(30)包括成为手(18～21)与柄构件(41)的连接部的手连接部(42)，手连接部(42)包括：能旋转地安装于柄构件(41)的辊(44)；以及安装于手(18～21)并且朝水平方向引导辊(44)的引导构件(45)。引导构件(45)安装成能相对于手(18～21)在上下方向上调节位置。

技术领域

本发明涉及搬运半导体晶片等基板的工业机器人。

背景技术

一直以来，已知一种基板搬运装置，其在以规定间距层叠收容有多个半导体晶片的盒子与对半导体晶片进行规定处理的半导体制造装置内的收容部之间同时搬运多个半导体晶片(例如，参照专利文献1)。专利文献1所记载的基板搬运装置包括：基板保持装置，上述基板保持装置对半导体晶片进行保持；以及机器人，上述机器人使基板保持装置移动。基板保持装置包括五个保持体，上述五个保持体具有供半导体晶片装载的叶片。

在专利文献1所记载的基板保持装置中，五个保持体配置成五个叶片在上下方向上重叠。此外，基板保持装置包括连杆机构，上述连杆机构用于改变五个叶片在上下方向上的间隔。连杆机构包括：从动连杆构件，上述从动连杆构件分别能转动地连接于除了配置于上下方向的中心的保持体之外的四个保持体；以及驱动连杆构件，上述驱动连杆构件能转动地连接于四根从动连杆构件。在驱动连杆构件的中心经由齿轮组连接有马达，驱动连杆构件能以基板保持装置在盒子与收容部之间搬运半导体晶片时的移动方向为转动的轴向而转动。

此外，两根从动连杆构件以能在从驱动连杆构件的中心向驱动连杆构件的长边方向一侧隔开规定间隔的状态下以基板保持装置的移动方向为转动的轴向转动的方式连接于驱动连杆构件，剩余的两根从动连杆构件以能在从驱动连杆构件的中心向驱动连杆构件的长边方向的另一侧隔开规定间隔的状态下以基板保持装置的移动方向为转动的轴向转动的方式连接于驱动连杆构件。在专利文献1所记载的基板保持装置中，当驱动连杆构件通过马达的动力转动时，连接有从动连杆构件的四个保持体会对应驱动连杆构件的转动量上下移动。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本专利特开2005－116807号公报

在专利文献1所记载的基板保持装置中，叶片相对于驱动连杆构件的转动中心在上下方向上的位置可能会由于构成保持体的零件的偏差等影响而发生偏差。若叶片相对于驱动连杆构件的转动中心在上下方向上的位置的偏移变大，五个叶片中的至少一个叶片配置于在上下方向上偏离规定范围的位置，则在盒子与收容部之间搬运半导体晶片时盒子或收容部可能会与叶片发生干涉。因而，若存在配置于在上下方向上偏离规定范围的位置的叶片，则需要对上述叶片在上下方向上的位置进行调节。

然而，在专利文献1所记载的基板保持装置中，为了对供从动连杆构件连接的四个保持体的叶片各自在上下方向上的位置进行调节，需要改变从动连杆构件与驱动连杆构件的连接位置或从动连杆构件与保持体的连接位置，或是改变从动连杆构件的长度。因而，在专利文献1所记载的基板保持装置中，难以对供从动连杆构件连接的四个保持体的叶片各自在上下方向上的位置进行调节。

发明内容

因而，本发明的技术问题在于提供一种工业机器人，能改变供基板装载并且配置成在上下方向上重叠的多个装载部在上下方向上的间隔，并能容易地调节多个装载部各自在上下方向上的位置。