[发明专利]一种碱清洗干法制绒工艺

摘要

本发明公开了一种碱清洗干法制绒工艺，包括：1）硅片预清洗阶段依次为使用KOH/H2O2的混合溶液、去离子水、KOH溶液、去离子水、HF/HCL的混合溶液、去离子水清洗硅片后脱水、烘干；2）干法制绒阶段：烘干后的硅片再经过RIE干法制绒后，得到黑硅；3）黑硅清洗阶段依次为使用HF去除硅片表面的反应副产物，再依次使用去离子水、KOH溶液、去离子水、HF/HCL的混合溶液、去离子水清洗硅片后脱水烘干得到黑硅成品。本发明由于避免了使用含有N元素的HNO3及BOE而极大降低了污水处理难度及排废量；RIE后使用碱清洗的微观尖端组织减少，可带来一定程度的提效，工艺时间可大大减少并大大提高产能。

主权项

1.一种碱清洗干法制绒工艺，其特征在于，包括如下步骤：1）硅片预清洗阶段依次为：①使用KOH/H2O2的混合溶液清洗硅片；②使用常温去离子水清洗硅片；③使用KOH清洗硅片；④使用常温去离子水清洗硅片；⑤常温下使用HF/HCL的混合溶液清洗硅片；⑥使用常温去离子水清洗硅片；⑦硅片脱水，烘干；2）干法制绒阶段：烘干后的硅片再经过RIE干法制绒后，得到反射率为3.5%‑6.5%的黑硅；3）黑硅清洗阶段依次为：①使用HF去除硅片表面的反应副产物；②使用常温去离子水清洗硅片；③使用KOH扩大硅片的微观孔洞，洗后硅片表面反射率为9%‑15%；④使用常温去离子水清洗硅片；⑤常温下使用HF/HCL的混合溶液清洗硅片；⑥使用常温去离子水清洗硅片；⑦硅片脱水烘干得到黑硅成品。