[发明专利]一种石墨烯探测器及其制备方法有效
| 申请号： | 201810204953.8 | 申请日： | 2018-03-13 |
| 公开（公告）号： | CN108507685B | 公开（公告）日： | 2020-11-03 |
| 发明（设计）人： | 王鹏;王杰;孙丰沛;陈文礼;王宏臣 | 申请（专利权）人： | 烟台睿创微纳技术股份有限公司 |
| 主分类号： | G01J5/20 | 分类号： | G01J5/20;G01J5/00;H01L31/09;B81C1/00;B81B7/02 |
| 代理公司： | 广州三环专利商标代理有限公司 44202 | 代理人： | 郝传鑫;贾允 |
| 地址： | 264000 山东*** | 国省代码： | 山东;37 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种石墨烯探测器及其制备方法，该探测器由下至上包括基底、金属反射层、微桥结构和超材料结构；微桥结构由下至上包括第一支撑层、热敏薄膜层、电极层和钝化层，热敏薄膜层通过电极层与金属反射层电连接；超材料结构包括第二支撑层、金属层、种子层和石墨烯薄膜层，第二支撑层设置于钝化层表面，第二支撑层上形成有金属层，金属层上形成有种子层，种子层表面生长形成石墨烯薄膜层。本发明的石墨烯探测器，采用CVD直接生长石墨烯作为探测器的超材料层，显著提高了探测器的光学吸收率和响应率，优化了器件性能，且制备工艺简单，避免了转移过程中对石墨烯薄膜的损伤。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 石墨 探测器 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
1.一种石墨烯探测器，其特征在于，所述探测器至少包括：基底(1)，金属反射层(2)，微桥结构，以及超材料结构；所述金属反射层(2)形成于所述基底(1)上；所述微桥结构设于所述金属反射层(2)上，所述微桥结构包括第一支撑层、热敏薄膜层(8)、电极层(12)和钝化层(14)；所述第一支撑层设置于所述金属反射层(2)上方，所述第一支撑层的上表面形成有所述热敏薄膜层(8)，所述热敏薄膜层(8)上方形成有所述电极层(12)，所述热敏薄膜层(8)通过所述电极层(12)与所述金属反射层(2)电连接，所述电极层(12)上形成有所述钝化层(14)；所述超材料结构设于所述微桥结构上，所述超材料结构包括第二支撑层(17)、金属层(18)、种子层(19)和石墨烯薄膜层(20)；所述第二支撑层(17)设置于所述钝化层(14)表面，所述第二支撑层(17)上形成有所述金属层(18)，所述金属层(18)上形成有所述种子层(19)，所述种子层(19)表面生长形成所述石墨烯薄膜层(20)。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于烟台睿创微纳技术股份有限公司，未经烟台睿创微纳技术股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201810204953.8/，转载请声明来源钻瓜专利网。
