[发明专利]精密掩膜板的制作方法有效
| 申请号： | 201810199983.4 | 申请日： | 2018-03-12 |
| 公开（公告）号： | CN108179381B | 公开（公告）日： | 2020-03-17 |
| 发明（设计）人： | 陈海涛 | 申请（专利权）人： | 昆山国显光电有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C14/24 |
| 代理公司： | 广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人： | 唐清凯 |
| 地址： | 215300 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种精密掩膜板的制作方法，包括：提供掩膜基板；对所述掩膜基板进行全刻蚀，形成具有第一开孔图案的第一区域和具有第二开孔图案的第二区域；所述第二区域与所述第一区域的至少一侧连接；以及对所述第二区域内的开孔进行堵孔以形成非显示区，并将所述第一区域作为显示区。上述精密掩膜板的制作方法，在对显示区进行全刻蚀开孔的同时会对作为非显示区的第二区域也一并进行全刻蚀开孔，从而确保显示区各处应力均匀，进而减小显示区边缘褶皱，有效降低使用该精密掩膜板的显示器产生mura的概率。 | ||
| 搜索关键词： | 精密 掩膜板 制作方法 | ||
【主权项】：
1.一种精密掩膜板的制作方法，包括：提供掩膜基板；对所述掩膜基板进行全刻蚀，形成具有第一开孔图案的第一区域和具有第二开孔图案的第二区域；所述第二区域与所述第一区域的至少一侧连接；以及对所述第二区域内的开孔进行堵孔以形成非显示区，并将所述第一区域作为显示区。
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