[发明专利]一种具有自修复功能的固态薄膜电容器及其制备方法有效
申请号: | 201810193898.7 | 申请日: | 2018-03-09 |
公开(公告)号: | CN108492987B | 公开(公告)日: | 2019-12-24 |
发明(设计)人: | 胡保付;杜保立;汪舰;徐坚;刘丙国;刘明 | 申请(专利权)人: | 河南理工大学 |
主分类号: | H01G4/33 | 分类号: | H01G4/33;H01G4/10;H01G13/00 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 454000 河南省焦作*** | 国省代码: | 河南;41 |
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摘要: | 本发明涉及一种具有自修复功能的固态薄膜电容器及其制备方法,该电容器包括衬底基片、底电极、二氧化锰薄膜、氧化铝电介质薄膜和上电极。所述的底电极是沉积衬底基片上的一层导电薄膜,所述的二氧化锰薄膜是沉积在底电极上的活性二氧化锰薄膜,所述的电介质薄膜是涂敷在二氧化锰薄膜上的无定型氧化铝薄膜,然后在氧化铝薄膜上沉积一层金属薄膜作为上电极,制成一个固态薄膜电容器单元。将电容器单元组合封装,焊接引线,制备成具有自修复功能的固态薄膜电容器。与现有的技术相比,本发明制备的电容器具有储能密度高,能够实现自修复、不存在电解液,安全可靠等优点。 | ||
搜索关键词: | 电容器 固态薄膜 制备 二氧化锰薄膜 自修复功能 底电极 沉积 薄膜 电容器单元 衬底基片 电极 活性二氧化锰 无定型氧化铝 氧化铝电介质 电介质薄膜 氧化铝薄膜 导电薄膜 焊接引线 金属薄膜 组合封装 电解液 自修复 储能 涂敷 | ||
【主权项】:
1.一种具有自修复功能的固态薄膜电容器的制备方法,其特征在于:该方法包括以下步骤:/n(1)配制浓度为0.5-1.0mol/L的硝酸锰水溶液;/n(2)将硝酸铝溶解到冰醋酸中,70℃水浴加热搅拌30-60min,然后加入乙酸酐,继续搅拌20-30min,自然冷却到室温后加入乙酰丙酮,室温搅拌10-30min,Al
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