[发明专利]集成电路器件

摘要

一种集成电路器件包括至少一个鳍型有源区、在至少一个鳍型有源区上的栅线以及在栅线的至少一侧的至少一个鳍型有源区上的源极/漏极区。第一导电插塞连接到源极/漏极区并且包括钴。第二导电插塞连接到栅线并与第一导电插塞间隔开。第三导电插塞连接到第一导电插塞和第二导电插塞的每个。第三导电插塞电连接第一导电插塞和第二导电插塞。

主权项

1.一种集成电路器件，包括：衬底，其包括在第一方向上延伸的至少一个鳍型有源区；栅线，其在所述至少一个鳍型有源区上并在交叉所述第一方向的第二方向上延伸；源极/漏极区，其在所述栅线的至少一侧的所述至少一个鳍型有源区上；第一导电插塞，其被连接到所述源极/漏极区并包括钴；第二导电插塞，其被连接到所述栅线，所述第二导电插塞与所述第一导电插塞间隔开；以及第三导电插塞，其被连接到所述第一导电插塞和所述第二导电插塞的每个，所述第三导电插塞电连接所述第一导电插塞和所述第二导电插塞。