[发明专利]一种超薄划片刀的电镀液组合物、其制备方法和应用有效

专利信息
申请号: 201810188246.4 申请日: 2018-03-07
公开(公告)号: CN108130583B 公开(公告)日: 2019-07-12
发明(设计)人: 王溯;俞立成;沈海龙 申请(专利权)人: 上海新阳半导体材料股份有限公司
主分类号: C25D15/00 分类号: C25D15/00;C25D7/00;C25D3/16
代理公司: 上海弼兴律师事务所 31283 代理人: 薛琦;袁红
地址: 201616 *** 国省代码: 上海;31
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摘要: 发明公开了一种超薄划片刀的电镀液组合物、其制备方法和应用。本发明的超薄划片刀的电镀液组合物的原料包含下列组分:硫酸镍、氯化镍、硼酸、1,8‑萘磺酸内酯、1,4‑双(3‑氨基苯)丁二炔、表面γ‑氨丙基三乙氧基硅烷改性的纳米金刚石、十二烷基磺酸钠和去离子水。本发明的超薄划片刀的电镀液组合物在制备性能良好的超薄金刚石镍基划片刀,效果显著。
搜索关键词: 片刀 电镀液 制备方法和应用 氨丙基三乙氧基硅烷 十二烷基磺酸钠 硼酸 纳米金刚石 金刚石 去离子水 制备性能 氨基苯 丁二炔 硫酸镍 氯化镍 萘磺酸 改性 内酯 镍基
【主权项】:
1.一种超薄划片刀的电镀液组合物,其特征在于,其由下述原料制得,所述的原料包含下列组分:硫酸镍、氯化镍、硼酸、1,8‑萘磺酸内酯、1,4‑双(3‑氨基苯)丁二炔、表面γ‑氨丙基三乙氧基硅烷改性的纳米金刚石、十二烷基磺酸钠和去离子水;其中,所述的表面γ‑氨丙基三乙氧基硅烷改性的纳米金刚石由下述制备方法制得,所述的制备方法包括下列步骤:溶剂中,将纳米金刚石粒子和γ‑氨丙基三乙氧基硅烷混合,进行反应,所述γ‑氨丙基三乙氧基硅烷的质量为溶剂和γ‑氨丙基三乙氧基硅烷的混合物质量的95.0%以上,但不为100%。
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