[发明专利]一种超薄划片刀的电镀液组合物、其制备方法和应用有效

专利信息
申请号: 201810188246.4 申请日: 2018-03-07
公开(公告)号: CN108130583B 公开(公告)日: 2019-07-12
发明(设计)人: 王溯;俞立成;沈海龙 申请(专利权)人: 上海新阳半导体材料股份有限公司
主分类号: C25D15/00 分类号: C25D15/00;C25D7/00;C25D3/16
代理公司: 上海弼兴律师事务所 31283 代理人: 薛琦;袁红
地址: 201616 *** 国省代码: 上海;31
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摘要:
搜索关键词: 片刀 电镀液 制备方法和应用 氨丙基三乙氧基硅烷 十二烷基磺酸钠 硼酸 纳米金刚石 金刚石 去离子水 制备性能 氨基苯 丁二炔 硫酸镍 氯化镍 萘磺酸 改性 内酯 镍基
【权利要求书】:

1.一种超薄划片刀的电镀液组合物,其特征在于,其由下述原料制得,所述的原料包含下列组分:硫酸镍、氯化镍、硼酸、1,8-萘磺酸内酯、1,4-双(3-氨基苯)丁二炔、表面γ-氨丙基三乙氧基硅烷改性的纳米金刚石、十二烷基磺酸钠和去离子水;

其中,所述的表面γ-氨丙基三乙氧基硅烷改性的纳米金刚石由下述制备方法制得,所述的制备方法包括下列步骤:溶剂中,将纳米金刚石粒子和γ-氨丙基三乙氧基硅烷混合,进行反应,所述γ-氨丙基三乙氧基硅烷的质量为溶剂和γ-氨丙基三乙氧基硅烷的混合物质量的95.0%以上,但不为100%。

2.如权利要求1所述的超薄划片刀的电镀液组合物,其特征在于,每升所述电镀液中所述的硫酸镍的质量为200-300g;

和/或,每升所述电镀液中所述的氯化镍的质量为20-30g;

和/或,每升所述电镀液中所述的硼酸的质量为25-35g;

和/或,每升所述电镀液中所述的1,8-萘磺酸内酯的质量为0.2-0.3g;

和/或,每升所述电镀液中所述的1,4-双(3-氨基苯)丁二炔的质量为0.2-0.3g;

和/或,每升所述电镀液中所述的表面γ-氨丙基三乙氧基硅烷改性的纳米金刚石的质量为0.4-0.7g;

和/或,每升所述电镀液中所述的十二烷基磺酸钠的质量为0.005-0.01g。

3.如权利要求1所述的超薄划片刀的电镀液组合物,其特征在于,每升所述电镀液中所述的硫酸镍的质量为250g;

和/或,每升所述电镀液中所述的氯化镍的质量为25g;

和/或,每升所述电镀液中所述的硼酸的质量为30g;

和/或,每升所述电镀液中所述的1,8-萘磺酸内酯的质量为0.25g;

和/或,每升所述电镀液中所述的1,4-双(3-氨基苯)丁二炔的质量为0.25g;

和/或,每升所述电镀液中所述的表面γ-氨丙基三乙氧基硅烷改性的纳米金刚石的质量为0.55g;

和/或,每升所述电镀液中所述的十二烷基磺酸钠的质量为0.007g。

4.如权利要求1所述的超薄划片刀的电镀液组合物,其特征在于,所述的表面γ-氨丙基三乙氧基硅烷改性的纳米金刚石由下述方法制得,所述的方法包括以下步骤:将γ-氨丙基三乙氧基硅烷和溶剂的混合液与纳米金刚石混合,进行所述的反应,即可;所述的混合的操作为超声分散的方式混合;

和/或,所述的γ-氨丙基三乙氧基硅烷质量百分比含量为95.0%-99.0%;

和/或,所述的溶剂为芳烃类溶剂;

和/或,所述的溶剂与所述的纳米金刚石的体积质量比为50-60mL/g;

和/或,所述的反应的时间为24-48小时;

和/或,所述的反应温度为室温,所述的室温为10-30℃。

5.如权利要求4所述的超薄划片刀的电镀液组合物,其特征在于,所述的芳烃类溶剂为甲苯。

6.如权利要求4所述的超薄划片刀的电镀液组合物,其特征在于,所述的反应的时间为24-36小时。

7.如权利要求4所述的超薄划片刀的电镀液组合物,其特征在于,所述的室温为25℃。

8.如权利要求1所述的超薄划片刀的电镀液组合物,其特征在于,所述的表面γ-氨丙基三乙氧基硅烷改性的纳米金刚石的制备方法中,所述的反应结束后,还可进一步包括分离、洗涤和干燥的操作。

9.如权利要求8所述的超薄划片刀的电镀液组合物,其特征在于,所述的分离为离心分离;

和/或,所述的洗涤为依次用甲苯和去离子水洗涤;

和/或,所述的干燥为真空干燥;

和/或,所述的真空干燥的时间为24-36小时;

和/或,所述的真空干燥的温度为40-50℃。

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