[发明专利]微波等离子反应装置以及微波等离子反应系统

摘要

本发明提供的一种微波等离子反应装置以及微波等离子反应系统，涉及金刚石制造技术领域，包括装置腔体；装置腔体包括上腔体和下腔体，上腔体设置在下腔体的上部；装置腔体上设置有进气口和至少一个出气口；上腔体内设置有第一微波反射体和第二微波反射体；第一微波反射体设置在上腔体的顶部，第二微波反射体设置在第一微波反射体的内部；下腔体的底部设置有天线外导体和天线内导体；天线内导体设置在天线外导体的内部；天线内导体的顶部形成有沉积台，沉积台上设置有基片，基片上设置有等离子体。在上述技术方案中，该微波等离子反应装置在用来制造金刚石材料的时候，可以提高装置的运行能力，在高功率条件下进行高品质金刚石材料的合成。

主权项

1.一种微波等离子反应装置，其特征在于，包括装置腔体；所述装置腔体包括上腔体和下腔体，所述上腔体设置在所述下腔体的上部；所述装置腔体上设置有进气口和至少一个出气口；所述上腔体内设置有第一微波反射体和第二微波反射体；所述第一微波反射体设置在所述上腔体的顶部，所述第二微波反射体设置在所述第一微波反射体的内部；所述下腔体的底部设置有天线外导体和天线内导体；所述天线内导体设置在所述天线外导体的内部；所述天线内导体的顶部形成有沉积台，所述沉积台上设置有基片，所述基片上设置有等离子体。