[发明专利]一种3D形貌检测系统及方法有效
| 申请号： | 201810164038.0 | 申请日： | 2018-02-27 |
| 公开（公告）号： | CN108426538B | 公开（公告）日： | 2019-12-31 |
| 发明（设计）人： | 易定容;孔令华;刘婷;蒋威;魏立 | 申请（专利权）人： | 华侨大学;宁波五维检测科技有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/24 | 分类号： | G01B11/24 |
| 代理公司： | 35204 厦门市首创君合专利事务所有限公司 | 代理人： | 张松亭 |
| 地址： | 362000 福建省*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种3D形貌检测系统及方法，系统包括自动载物台、带有纵向色差的光学显微成像系统、一个通道数N≥4的窄带多光谱图像传感器、控制单元及图像分析单元；所述载物台与所述控制单元电相连，所述图像分析单元与所述多光谱图像传感器和控制单元分别电相连，所述光学显微成像系统与所述多光谱图像传感器机械相连。本发明可以一次曝光获得物体表面XY空间位置自然校准而聚焦清晰度不同的多幅窄带光谱图像，使用配套的如散焦模糊度算法及配套的自动聚焦方法，可以全自动的获得物体表面3D形貌，即任意空间位置XY的深度Z信息；本发明对于先进制造刀具、精密样品或者部件表面形貌快速在线检测具有广泛应用价值。 | ||
| 搜索关键词： | 多光谱图像 光学显微成像系统 形貌 图像分析单元 空间位置 物体表面 形貌检测 配套的 传感器 快速在线检测 传感器机械 自动载物台 部件表面 先进制造 一次曝光 窄带光谱 自动聚焦 纵向色差 校准 模糊度 通道数 散焦 算法 窄带 刀具 精密 聚焦 图像 应用 | ||
【主权项】：
1.一种3D形貌检测系统，包括载物台、光学显微成像系统、多光谱图像传感器、控制单元和图像分析单元，其特征在于，所述载物台与所述控制单元电相连，所述图像分析单元与所述多光谱图像传感器和控制单元分别电相连，所述光学显微成像系统与所述多光谱图像传感器机械相连；/n所述光学显微成像系统是带纵向色差的光学显微成像系统，所述光学显微成像系统照明光源为透射光源、与物镜环绕的斜射光源或其它不通过物镜的落射照明光源；/n所述多光谱图像传感器包括一个光学滤片和一个黑白图像传感器，所述光学滤片紧贴在所述黑白图像传感器的有效光电转换平面上；所述光学滤片包括若干个阵列周期设置的光学滤镜宏单元；每个所述光学滤镜宏单元包括N个空间位置互不重叠、透过光波段各不相同且彼此不重叠的光学窄带微滤镜单元；并且每个所述光学滤镜宏单元覆盖整数个所述黑白图像传感器的像素；其中，N≥4；/n所述载物台为电动载物台，在电控制下沿着至少一个方向运动。/n
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