[发明专利]薄膜组件、检验容器以及电子显微镜在审
| 申请号： | 201810155124.5 | 申请日： | 2018-02-23 |
| 公开（公告）号： | CN110186942A | 公开（公告）日： | 2019-08-30 |
| 发明（设计）人： | 黄祖纬;吴佳凌;刘铈谊;张茂展 | 申请（专利权）人： | 台湾电镜仪器股份有限公司 |
| 主分类号： | G01N23/203 | 分类号： | G01N23/203 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人： | 贾磊;王涛 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明提供一种薄膜组件、检验容器以及电子显微镜。该检验容器包含一主体、一薄膜组件以及一盖体。主体具有一容置槽以容置样品。薄膜组件覆盖容置槽的一开口端。薄膜组件包含一支撑件以及一薄膜。支撑件具有一第一表面以及一第二表面，其中支撑件为平板状，且具有一第一通孔，其贯穿第一表面以及第二表面。薄膜设置于支撑件的第二表面侧，且具有一第二通孔，其中第二通孔对应于第一通孔，且第二通孔可供一带电粒子束通过。盖体可拆卸地与主体结合，以固定薄膜组件。上述检验容器的薄膜组件易于更换且仅产生较少的耗材。同时亦揭露一种使用上述检验容器的电子显微镜。本发明以平板状的支撑件固定薄膜，操作者易于更换薄膜组件且仅会产生少量耗材。 | ||
| 搜索关键词： | 薄膜组件 检验容器 支撑件 通孔 电子显微镜 第二表面 第一表面 平板状 容置槽 盖体 耗材 薄膜 粒子束 固定薄膜组件 固定薄膜 开口端 可拆卸 容置 覆盖 贯穿 | ||
【主权项】：
1.一种薄膜组件，其特征在于，包含：一支撑件，其具有一第一表面以及相对的一第二表面，其中该支撑件为平板状，且具有一第一通孔，其贯穿该第一表面以及该第二表面；以及一薄膜，其设置于该支撑件的该第二表面侧，且具有一第二通孔，其中该第二通孔对应于该第一通孔，且该第二通孔可供一带电粒子束通过。
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