[发明专利]压力控制方法

摘要

本发明提供一种能够使生产率提高的压力控制方法。一个实施方式的压力控制方法是在一个真空容器内具有被不完全地分隔的多个处理区域的成膜装置中的压力控制方法，所述压力控制方法包括：第一调整步骤：基于按所述多个处理区域的各处理区域而定的目标压力和目标流量、以及表示流量与压力与开度的关系的学习信息来对被设置于所述多个处理区域的各处理区域的排气阀的开度进行调整；以及第二调整步骤，在所述第一调整步骤之后，基于所述多个处理区域中的一个处理区域的压力来对被设置于所述一个处理区域的排气阀的开度进行调整。

主权项

1.一种压力控制方法，是在一个真空容器内具有被不完全地分隔的多个处理区域的成膜装置中的压力控制方法，所述压力控制方法包括：第一调整步骤，基于按所述多个处理区域的各处理区域而定的目标压力和目标流量、以及表示流量与压力与开度的关系的学习信息来对被设置于所述多个处理区域的各个处理区域的排气阀的开度进行调整；以及第二调整步骤，在所述第一调整步骤之后，基于所述多个处理区域中的一个处理区域的压力来对被设置于所述一个处理区域的排气阀的开度进行调整。