[发明专利]减小菲涅尔衍射条纹的洛伦兹透射电镜样品的制备方法在审
| 申请号： | 201810120815.1 | 申请日： | 2018-02-07 |
| 公开（公告）号： | CN108387598A | 公开（公告）日： | 2018-08-10 |
| 发明（设计）人： | 杜海峰;王莎莎;田明亮 | 申请（专利权）人： | 中国科学院合肥物质科学研究院 |
| 主分类号： | G01N23/2202 | 分类号： | G01N23/2202 |
| 代理公司： | 合肥和瑞知识产权代理事务所(普通合伙) 34118 | 代理人： | 任岗生 |
| 地址： | 230031 安徽省合肥*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种减小菲涅尔衍射条纹的洛伦兹透射电镜样品的制备方法。它包括使用聚焦离子束将待测样品切割成30‑150nm厚的透射薄片后，清理透射薄片表面的非晶层，特别是完成步骤如下：使用蒸镀法在待测样品与真空接触的表面蒸镀厚500‑1000nm的金属层，或使用聚焦离子束在待测样品与真空接触的表面沉积厚500‑1000nm的含有机物的保护层，制得目的产物。它于使用洛伦兹透射电镜表征时，在目的产物与真空交界处出现的菲涅尔衍射条纹极弱，从而极易于应用在对各种尺寸的待测样品精确地进行洛伦兹透射电镜的表征，使其在表征材料磁信息的领域有着广泛的应用前景。 | ||
| 搜索关键词： | 待测样品 衍射条纹 菲涅尔 透射电镜样品 聚焦离子束 真空接触 透射 减小 制备 透射电镜表征 薄片表面 表面沉积 表征材料 透射电镜 有机物 保护层 磁信息 非晶层 交界处 金属层 蒸镀法 蒸镀 应用 切割 | ||
【主权项】：
1.一种减小菲涅尔衍射条纹的洛伦兹透射电镜样品的制备方法，包括使用聚焦离子束将样品切割成30‑150nm厚的透射薄片后，清理透射薄片表面的非晶层，其特征在于完成步骤如下：使用蒸镀法在待测样品与真空接触的表面蒸镀厚500‑1000nm的金属层；或者，使用聚焦离子束在待测样品与真空接触的表面沉积厚500‑1000nm的含有机物的保护层；制得减小菲涅尔衍射条纹的洛伦兹透射电镜样品。
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