[发明专利]基于数字散斑干涉的曲面物体离面形变测量方法及装置有效
| 申请号： | 201810105567.3 | 申请日： | 2018-02-02 |
| 公开（公告）号： | CN108106556B | 公开（公告）日： | 2020-01-21 |
| 发明（设计）人： | 蔡萍;李鹏飞;徐添翼;王婷婷;隆军;刘持越;闫浩;莫芮 | 申请（专利权）人： | 上海交通大学 |
| 主分类号： | G01B11/16 | 分类号： | G01B11/16 |
| 代理公司： | 31201 上海交达专利事务所 | 代理人： | 王毓理;王锡麟 |
| 地址： | 200240 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 一种基于数字散斑干涉的曲面物体离面形变测量方法及装置，其特征是通过对曲面物体进行40～50度入射照明并采集光束偏转前、后以及相移前后的散斑图获取曲面的三维形貌，根据三维形貌计算得到曲面上任意点的法线矢量，然后通过对待测曲面进行加载，进一步得到待测曲面变形前后的不同散斑图，结合形貌测量获得曲面物体表面任意一点的法线矢量，测得沿法线方向的离面形变。本发明能够对三维形貌和离面形变实现综合测量，是一种无损，全场，高效的数字散斑干涉测量方法。 | ||
| 搜索关键词： | 曲面物体 面形 三维形貌 数字散斑 测量方法及装置 法线矢量 散斑图 法线方向 干涉测量 光束偏转 形貌测量 任意点 干涉 加载 入射 相移 无损 变形 测量 采集 | ||
【主权项】：
1.一种基于数字散斑干涉的曲面物体离面形变测量方法，其特征在于，通过对曲面以40～50度入射角进行照明并采集光束偏转前、后以及相移前后的散斑图获取曲面的三维形貌，根据三维形貌计算得到曲面上任意点的法线矢量，然后通过对待测曲面进行加载，进一步得到待测曲面变形前后的不同散斑图，测得沿法线方向的离面形变；/n所述的离面形变，通过以下方式得到：当待测曲面变形前物体上M点对应变形后在法线方向为M`点时，在法线方向物体形变和光程差的关系为：ΔL＝d(cosθ
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