[发明专利]镀覆用单元及包括该镀覆用单元的镀覆装置有效
| 申请号： | 201810102405.4 | 申请日： | 2018-02-01 |
| 公开（公告）号： | CN108385155B | 公开（公告）日： | 2020-06-16 |
| 发明（设计）人： | 山田尚弘;海沼泰明;五木田泰男 | 申请（专利权）人： | 株式会社村田制作所 |
| 主分类号： | C25D17/16 | 分类号： | C25D17/16;C25D7/00 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 韩俊 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种镀覆用单元及包括该镀覆用单元的镀覆装置，抑制被镀覆物的镀覆厚度的不均。镀覆用单元(10)能储存镀覆液且能收容被镀覆物，并通过旋转装置(30)以垂直轴线(J)为中心旋转。镀覆用单元(10)包括：底板(12)；上爬构件(13)，该上爬构件(13)具有电绝缘性，并具有随着从底板(12)的上表面(12a)向上方而朝径向外侧倾斜的第一倾斜面(13a)；以及阴极电极(14)，该阴极电极(14)配置成在沿垂直轴线(J)的方向上与上爬构件(13)相邻，并具有随着朝向上方而朝径向外侧倾斜的第二倾斜面(14a)。 | ||
| 搜索关键词： | 镀覆 单元 包括 装置 | ||
【主权项】：
1.一种镀覆用单元，能储存镀覆液且能对被镀覆物组进行收容，并通过旋转装置以垂直轴线为中心旋转，其特征在于，包括：底板；上爬构件，所述上爬构件具有电绝缘性，并具有第一倾斜面，所述第一倾斜面随着从所述底板的上表面向上方而朝与所述垂直轴线正交的径向的外侧倾斜；以及阴极电极，所述阴极电极配置成在沿所述垂直轴线方向上与所述上爬构件相邻，并具有第二倾斜面，所述第二倾斜面随着朝向上方而朝所述径向的外侧倾斜。
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