[发明专利]镀覆用单元及包括该镀覆用单元的镀覆装置有效
申请号: | 201810102405.4 | 申请日: | 2018-02-01 |
公开(公告)号: | CN108385155B | 公开(公告)日: | 2020-06-16 |
发明(设计)人: | 山田尚弘;海沼泰明;五木田泰男 | 申请(专利权)人: | 株式会社村田制作所 |
主分类号: | C25D17/16 | 分类号: | C25D17/16;C25D7/00 |
代理公司: | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人: | 韩俊 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 镀覆 单元 包括 装置 | ||
1.一种镀覆用单元,能储存镀覆液且能对被镀覆物组进行收容,并通过旋转装置以垂直轴线为中心旋转,
其特征在于,包括:
底板;
上爬构件,所述上爬构件具有电绝缘性,并具有第一倾斜面,所述第一倾斜面随着从所述底板的上表面向上方而朝与所述垂直轴线正交的径向的外侧倾斜;
阴极电极,所述阴极电极配置成在沿所述垂直轴线方向上与所述上爬构件相邻,并具有第二倾斜面,所述第二倾斜面随着朝向上方而朝所述径向的外侧倾斜;以及
盖体,所述盖体配置成在沿所述垂直轴线的方向上与所述阴极电极相邻,所述盖体具有第三倾斜面,所述第三倾斜面随着朝向上方而朝所述径向的内侧倾斜,
所述第二倾斜面与正交于所述垂直轴线的平面所成的角度比所述第一倾斜面与正交于所述垂直轴线的平面所成的角度大,
所述第二倾斜面相对于所述第一倾斜面的角度是140°以上且155°以下,
所述第三倾斜面相对于所述第二倾斜面的角度是130°以上且145°以下。
2.如权利要求1所述的镀覆用单元,其特征在于,
所述第二倾斜面与正交于所述垂直轴线的平面所成的角度是70°以上且85°以下。
3.如权利要求1或2所述的镀覆用单元,其特征在于,
所述第一倾斜面的上端缘的内径与所述第二倾斜面的下端缘的内径彼此相等。
4.如权利要求1或2所述的镀覆用单元,其特征在于,
所述第一倾斜面的上端缘与所述第二倾斜面的下端缘之间形成有台阶,所述台阶是由所述第一倾斜面的上端缘在所述径向上的位置与所述第二倾斜面的下端缘在所述径向上的位置错开而引起的,
所述台阶的大小是构成所述被镀覆物组的被镀覆物的最小尺寸的1/2以下。
5.如权利要求1或2所述的镀覆用单元,其特征在于,
所述第二倾斜面相对于所述第一倾斜面的角度与所述第三倾斜面相对于所述第二倾斜面的角度彼此相等。
6.如权利要求1或2所述的镀覆用单元,其特征在于,
所述第二倾斜面的上端缘的内径与所述第三倾斜面的下端缘的内径彼此相等。
7.如权利要求1或2所述的镀覆用单元,其特征在于,
所述镀覆用单元具有上方开口的开口部,
所述镀覆液通过所述开口部排出。
8.一种镀覆装置,其特征在于,包括:
权利要求7所述的镀覆用单元;
阳极电极,所述阳极电极从所述开口部插入;以及
所述旋转装置,所述旋转装置使所述镀覆用单元旋转。
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