[发明专利]镀覆用单元及包括该镀覆用单元的镀覆装置

说明书

一种镀覆用单元及包括该镀覆用单元的镀覆装置，抑制被镀覆物的镀覆厚度的不均。镀覆用单元(10)能储存镀覆液且能收容被镀覆物，并通过旋转装置(30)以垂直轴线(J)为中心旋转。镀覆用单元(10)包括：底板(12)；上爬构件(13)，该上爬构件(13)具有电绝缘性，并具有随着从底板(12)的上表面(12a)向上方而朝径向外侧倾斜的第一倾斜面(13a)；以及阴极电极(14)，该阴极电极(14)配置成在沿垂直轴线(J)的方向上与上爬构件(13)相邻，并具有随着朝向上方而朝径向外侧倾斜的第二倾斜面(14a)。

技术领域

本发明涉及一种镀覆用单元及包括该镀覆用单元的镀覆装置。

背景技术

作为镀覆装置，已知一种离心镀覆装置，将被镀覆物放入储存有镀覆液的镀覆用单元内，使镀覆用单元旋转，并使被镀覆物与设于外周部的环状的阴极电极接触，以对被镀覆物进行电镀(例如，参照专利文献1)。

参照图9，对现有的离心镀覆装置300的一例进行说明。离心镀覆装置300包括：镀覆用单元310；容器320，上述容器320从外侧将镀覆用单元310包围；阳极电极330，上述阳极电极330插入镀覆用单元310内；以及旋转装置340，上述旋转装置340以垂直轴线J为中心使镀覆用单元310旋转。镀覆用单元310具有圆板状的底板311、环状的多孔体312、环状的阴极电极313和大致圆锥台状的盖体314，并构成对镀覆液进行储存的收容部315。底板311与旋转装置340的转轴341连接。多孔体312设于底板311的外周部，并将收容部315内的镀覆液排出至容器320。阴极电极313设于多孔体312之上。用沿垂直轴线J的平面剖切后的阴极电极313的截面形状是矩形。更为详细而言，阴极电极313的内周面313a是与垂直轴线J平行的表面。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本专利特许第3328216号公报

然而，在离心镀覆装置300中，通过镀覆用单元310的旋转使被镀覆物的集合体即被镀覆物组350朝径向外侧移动，从而堆积于多孔体312和阴极电极313的内侧。在这种情况下，如图9所示，被镀覆物组350在阴极电极313的内周面313a的下端部(底板311侧的端部)的堆积厚度比被镀覆物组350在阴极电极313的内周面313a的上端部(盖体314侧的端部)的堆积厚度大。因而，被镀覆物组350的径向内侧的与阴极电极313的下端部相对的区域R的被镀覆物不易被镀覆。其结果为，被镀覆物的镀覆厚度可能会产生不均。另外，在用沿垂直轴线J的平面剖切后的镀覆用单元310的剖视观察时，被镀覆物组350的堆积厚度是被镀覆物堆积在阴极电极313的内周面313a的径向内侧的厚度tr。

发明内容

本发明的目的在于提供一种抑制被镀覆物的镀覆厚度的不均的镀覆用单元及包括该镀覆用单元的镀覆装置。

解决上述技术问题的镀覆用单元，能储存镀覆液且能对被镀覆物组进行收容，并通过旋转装置以垂直轴线为中心旋转，包括：底板；上爬构件，上述上爬构件具有电绝缘性，并具有第一倾斜面，上述第一倾斜面随着从上述底板的上表面向上方而朝与上述垂直轴线正交的径向的外侧倾斜；以及阴极电极，上述阴极电极配置成在沿上述垂直轴线方向上与上述上爬构件相邻，并具有第二倾斜面，上述第二倾斜面随着朝向上方而朝上述径向的外侧倾斜。

根据上述结构，在镀覆用单元旋转的状态下，爬上上爬构件的被镀覆物组在被镀覆物组的堆积厚度的不均被第一倾斜面抑制的同时移动至阴极电极。此外，移动至阴极电极的被镀覆物组的堆积厚度还能进一步被第二倾斜面抑制。由于被镀覆物如上所述在被镀覆物组的堆积厚度的不均被抑制的状态下被镀覆，因而能抑制被镀覆物的镀覆厚度的不均。在此，被镀覆物组是被镀覆物的集合体。此外，在用沿垂直轴线的平面剖切后的镀覆用单元的剖视观察时，被镀覆物组的堆积厚度是被镀覆物在与阴极电极的第二倾斜面垂直的方向上堆积后的厚度。