[发明专利]一种热光型相位调制结构在审
| 申请号： | 201810100489.8 | 申请日： | 2018-02-01 |
| 公开（公告）号： | CN110109267A | 公开（公告）日： | 2019-08-09 |
| 发明（设计）人： | 李冰;李营营 | 申请（专利权）人： | 上海硅通半导体技术有限公司 |
| 主分类号： | G02F1/025 | 分类号： | G02F1/025;G02F1/01 |
| 代理公司： | 上海智晟知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31313 | 代理人： | 张东梅;林高锋 |
| 地址： | 200438 上海市杨浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明的实施例公开了一种热光型相位调制结构，包括：波导；设置在所述波导周围的包层；设置在所述包层与所述波导相邻一侧的相对侧的第一接触掺杂区和第二接触掺杂区；设置在第一接触掺杂区上方且与第一接触掺杂区形成电连接的第一电极；以及设置在第二接触掺杂区上方且与第二接触掺杂区形成电连接的第二电极。 | ||
| 搜索关键词： | 掺杂区 波导 相位调制结构 电连接 包层 热光 第二电极 第一电极 | ||
【主权项】：
1.一种热光型相位调制结构，包括：波导；设置在所述波导周围的包层；设置在所述包层与所述波导相邻一侧的相对侧的第一接触掺杂区和第二接触掺杂区；设置在第一接触掺杂区上方且与第一接触掺杂区形成电连接的第一电极；以及设置在第二接触掺杂区上方且与第二接触掺杂区形成电连接的第二电极。
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