[发明专利]加载治具以及蒸镀机有效
| 申请号： | 201810096984.6 | 申请日： | 2018-01-31 |
| 公开（公告）号： | CN108300973B | 公开（公告）日： | 2020-05-22 |
| 发明（设计）人： | 关立伟 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司;鄂尔多斯市源盛光电有限责任公司 |
| 主分类号： | C23C14/50 | 分类号： | C23C14/50;H01L51/56;C23C14/24 |
| 代理公司： | 北京律智知识产权代理有限公司 11438 | 代理人： | 阚梓瑄;王卫忠 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开一种加载治具以及蒸镀机，加载治具包括本体以及至少一片弹性膜片。本体呈板状结构且夹设于承载平台与多个夹块之间。至少一片弹性膜片分别设于本体底部的对应夹块的至少一个位置，弹性膜片外接于信号转换器。其中，弹性膜片在夹块施压于本体底部时，能够测量夹块施加的压力，并将测得的压力信号传递至信号转换器而转换为压力值。本发明利用多片弹性膜片的设置，能够在夹固组件夹固工件时，准确测量出夹具各夹块施加在加载治具的压力，即测量出夹具各位置的夹固力，从而可通过压力得知包括夹块与夹块的间距、夹块与承载平台的间距以及夹块自身位置等参数，以供操作者准确、方便地测量夹固组件的夹固状态。 | ||
| 搜索关键词： | 加载 以及 蒸镀机 | ||
【主权项】：
1.一种加载治具，用以替代玻璃基板设置在蒸镀机的夹固组件中，所述夹固组件包括承载平台和夹具，所述夹具具有夹固于所述承载平台底部的多个夹块，其特征在于，所述加载治具包括：本体，呈板状结构且夹设于所述承载平台与多个所述夹块之间；以及至少一片弹性膜片，分别设于所述本体底部的对应所述夹块的至少一个位置，所述弹性膜片外接于信号转换器；其中，所述弹性膜片在所述夹块施压于所述本体底部时，能够测量所述夹块施加的压力，并将测得的压力信号传递至所述信号转换器而转换为压力值。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于京东方科技集团股份有限公司;鄂尔多斯市源盛光电有限责任公司，未经京东方科技集团股份有限公司;鄂尔多斯市源盛光电有限责任公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201810096984.6/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种精密球表面制备沉积改性涂层的装置及方法
- 下一篇：PVD滚镀装置及方法
- 同类专利
- 专利分类
