[发明专利]加载治具以及蒸镀机

说明书

本发明公开一种加载治具以及蒸镀机，加载治具包括本体以及至少一片弹性膜片。本体呈板状结构且夹设于承载平台与多个夹块之间。至少一片弹性膜片分别设于本体底部的对应夹块的至少一个位置，弹性膜片外接于信号转换器。其中，弹性膜片在夹块施压于本体底部时，能够测量夹块施加的压力，并将测得的压力信号传递至信号转换器而转换为压力值。本发明利用多片弹性膜片的设置，能够在夹固组件夹固工件时，准确测量出夹具各夹块施加在加载治具的压力，即测量出夹具各位置的夹固力，从而可通过压力得知包括夹块与夹块的间距、夹块与承载平台的间距以及夹块自身位置等参数，以供操作者准确、方便地测量夹固组件的夹固状态。

技术领域

本发明涉及OLED器件制造设备技术领域，尤其涉及一种加载治具以及蒸镀机。

背景技术

在OLED(Organic Light-Emitting Diode，有机发光二极管)器件的现有蒸镀工艺中，LTPS(Low Temperature Poly-silicon，低温多晶硅技术)背板在经Arrary工艺(例如包括镀膜、曝光、刻蚀等工艺)、切割工艺等进入OLED工艺，OLED工艺是将玻璃夹固在蒸镀机中的夹固组件(Alinger)中，夹固组件主要包括磁力板、掩膜版加载平台，且玻璃是采用具有多个夹块的夹具加载到玻璃平台上，经过CCD和夹固组件各部件协调动作进行玻璃和掩膜版对位，然后进行蒸镀，蒸镀机包含有多个腔室，每个腔室结构基本相同，其中夹固组件是多个精密小部件组成，动作频率高，易产生偏移，尤其是夹具各夹块的位置、间距或夹紧程度异常都会导致玻璃无法对位或碎片，需要定期检查和调整，目前没有便捷的治具用于检查各夹块是否对位准确，若对蒸镀机的全部腔室进行检查，将耗费大量时间和成本。

其中，在现有蒸镀工艺中，对玻璃加载装置中的各夹块的管理，主要包括对夹块与夹块的第一间距(Distance)、夹块与承载平台的第二间距(Gap)以及夹块自身位置等参数的测量。其中，第一间距通常使用传统的钢尺测量，受尺子自身形变形和夹块周边其他部件的影响，测量准确度较差，且具有一定的难度。第二间距通常采用传统的塞尺测量，由于人员感知的力度不同，测量误差极大，往往会出现毫米级的误差。再者，由于各夹块的自身位置不存在参照依据，夹块自身微小的位置变化无法发现和测量。

发明内容

本发明的一个主要目的在于克服上述现有技术的至少一种缺陷，提供一种能够准确方便地测量夹固组件的夹固状态的加载治具。

本发明的另一个主要目的在于克服上述现有技术的至少一种缺陷，提供一种具有上述加载治具的蒸镀机。

为实现上述目的，本发明采用如下技术方案：

根据本发明的一个方面，提供一种加载治具，用以替代玻璃基板设置在蒸镀机的夹固组件中。所述夹固组件包括承载平台和夹具，所述夹具具有夹固于所述承载平台底部的多个夹块。其中，所述加载治具包括本体以及至少一片弹性膜片。所述本体呈板状结构且夹设于所述承载平台与多个所述夹块之间。至少一片所述弹性膜片分别设于所述本体底部的对应所述夹块的至少一个位置，所述弹性膜片外接于信号转换器。其中，所述弹性膜片在所述夹块施压于所述本体底部时，能够测量所述夹块施加的压力，并将测得的压力信号传递至所述信号转换器而转换为压力值。

根据本发明的其中一个实施方式，所述本体底部开设有多个开槽，多片所述弹性膜片分别设于多个所述开槽的槽底；其中，多个所述夹块夹固所述加载治具时，多个所述夹块分别卡入多个所述开槽。

根据本发明的其中一个实施方式，所述开槽的形状与所述夹块的形状匹配。

根据本发明的其中一个实施方式，所述夹块夹固于所述本体底部的周缘；其中，所述开槽开设于所述本体底部的邻接所述本体周缘的部分，且所述开槽的一侧槽壁开口于所述本体的侧边。

根据本发明的其中一个实施方式，所述本体底面标识有刻度图案，所述刻度图案上的刻度分别对应于所述本体的与各所述夹块接触的位置。