[发明专利]蒸镀设备及其磁性固定板在审
| 申请号： | 201810080276.3 | 申请日： | 2018-01-27 |
| 公开（公告）号： | CN108203805A | 公开（公告）日： | 2018-06-26 |
| 发明（设计）人： | 宋春来 | 申请（专利权）人： | 武汉华星光电半导体显示技术有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C14/24;C23C14/12 |
| 代理公司： | 深圳市铭粤知识产权代理有限公司 44304 | 代理人： | 孙伟峰;黄进 |
| 地址： | 430070 湖北省武汉市东湖新技术*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种蒸镀设备的磁性固定板，用于吸附固定金属掩膜版，所述磁性固定板包括板体，所述板体中设置有多个容置槽，每一所述容置槽中插设有一磁块；其中，以所述板体的中心为基准，越靠近所述板体中心的容置槽的深度越大。本发明还公开了一种蒸镀设备，其包括：基板载台，用于承载待蒸镀基板，所述待蒸镀基板固定于所述基板载台的第一表面上；如上所述的磁性固定板，用于将金属掩膜版吸附固定于所述待蒸镀基板上，所述磁性固定板设置于所述基板载台的与所述第一表面相对的第二表面上；蒸发单元，设置于所述基板载台的第一表面的相对下方，用于产生蒸镀材料颗粒并将所述蒸镀材料颗粒朝向所述待蒸镀基板扩散。 | ||
| 搜索关键词： | 磁性固定板 基板载台 蒸镀基板 第一表面 蒸镀设备 容置槽 板体 金属掩膜 吸附固定 蒸镀材料 板体中心 磁性固定 第二表面 蒸发单元 磁块 承载 扩散 | ||
【主权项】：
1.一种蒸镀设备的磁性固定板，用于吸附固定金属掩膜版，其特征在于，所述磁性固定板包括板体，所述板体中设置有多个容置槽，每一所述容置槽中插设有一磁块；其中，以所述板体的中心为基准，越靠近所述板体中心的容置槽的深度越大。
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