[发明专利]蒸镀设备及其磁性固定板

权利要求书

1.一种蒸镀设备的磁性固定板，用于吸附固定金属掩膜版，其特征在于，所述磁性固定板包括板体，所述板体中设置有多个容置槽，每一所述容置槽中插设有一磁块；其中，以所述板体的中心为基准，越靠近所述板体中心的容置槽的深度越大。

2.根据权利要求1所述的蒸镀设备的磁性固定板，其特征在于，所述金属掩膜版在吸附固定时，由于自身重力的影响，所述金属掩膜版呈现为弯曲面结构；其中，所述多个容置槽的深度根据所述弯曲面结构设定，以使插设于所述多个容置槽中的各个磁块与所述金属掩膜版的垂直距离趋于相等。

3.根据权利要求1或2所述的蒸镀设备的磁性固定板，其特征在于，所述多个容置槽在所述板体中呈矩阵阵列排布，以使所述磁块相应地呈矩阵阵列排布。

4.根据权利要求1或2所述的蒸镀设备的磁性固定板，其特征在于，所述磁块凸起于所述板体的上表面。

5.根据权利要求1或2所述的蒸镀设备的磁性固定板，其特征在于，所述板体上设置有连接臂，所述连接臂用于支撑所述磁性固定板。

6.根据权利要求5所述的蒸镀设备的磁性固定板，其特征在于，所述连接臂连接于所述板体中心。

7.根据权利要求5所述的蒸镀设备的磁性固定板，其特征在于，所述连接臂为可升降机构。

8.一种蒸镀设备，其特征在于，包括：

基板载台，用于承载待蒸镀基板，所述待蒸镀基板固定于所述基板载台的第一表面上；

如权利要求1-7任一所述的磁性固定板，用于将金属掩膜版吸附固定于所述待蒸镀基板上，所述磁性固定板设置于所述基板载台的与所述第一表面相对的第二表面上；

蒸发单元，设置于所述基板载台的第一表面的相对下方，用于产生蒸镀材料颗粒并将所述蒸镀材料颗粒朝向所述待蒸镀基板扩散。

9.根据权利要求8所述的蒸镀设备，其特征在于，所述蒸发单元包括坩埚和喷嘴，所述喷嘴朝向所述基板载台开口，所述坩埚用于对蒸镀材料加热使所述蒸镀材料气化形成蒸镀材料颗粒，所述蒸镀材料颗粒通过所述喷嘴朝向所述待蒸镀基板扩散。

10.根据权利要求8所述的蒸镀设备，其特征在于，所述蒸镀设备还包括冷却板，所述冷却板连接在所述基板载台的第一表面上，所述待蒸镀基板固定于所述冷却板上。