[发明专利]蒸镀设备及其磁性固定板

说明书

本发明公开了一种蒸镀设备的磁性固定板，用于吸附固定金属掩膜版，所述磁性固定板包括板体，所述板体中设置有多个容置槽，每一所述容置槽中插设有一磁块；其中，以所述板体的中心为基准，越靠近所述板体中心的容置槽的深度越大。本发明还公开了一种蒸镀设备，其包括：基板载台，用于承载待蒸镀基板，所述待蒸镀基板固定于所述基板载台的第一表面上；如上所述的磁性固定板，用于将金属掩膜版吸附固定于所述待蒸镀基板上，所述磁性固定板设置于所述基板载台的与所述第一表面相对的第二表面上；蒸发单元，设置于所述基板载台的第一表面的相对下方，用于产生蒸镀材料颗粒并将所述蒸镀材料颗粒朝向所述待蒸镀基板扩散。

技术领域

本发明涉及有机发光显示技术领域，具体涉及一种在基板上蒸镀有机发光层的蒸镀设备及其磁性固定板。

背景技术

有机电致发光二极管(Organic light-emitting diodes，OLED)显示面板具备自发光、厚度薄、视角广和反应速度快等优点，是新一代平面显示技术的代表，越来越受到业界的推崇。

OLED显示面板已成为目前研究的重点与热点。现有技术中，OLED显示面板的基本结构包括阳极层、有机发光层和阴极层，其中，有机发光层的成膜方法有很多种，例如，蒸镀成膜法、分子束外延法、有机化学气相沉积法等。由于蒸镀成膜法具有操作简单、膜厚容易控制、对薄膜的污染小等优点，因而现有技术中多采用蒸镀成膜法形成有机发光层，即在真空环境下，将蒸镀材料加热使其蒸发，并沉积到目标基板(阵列基板)上形成有机发光层。

在蒸镀成膜过程中，主要采用高精度金属掩膜版(Fine Metal Mask，FMM)进行蒸镀，设置有开口图案的金属掩膜版固定于目标基板上，在金属掩膜版的遮挡下，蒸镀材料颗粒穿过开口图案沉积在目标基板上形成图形化的有机发光层。现有技术中，金属掩膜版是通过磁板(Magnet Plate)吸附固定在目标基板上并与目标基板对位贴合。随着OLED显示面板的尺寸越来越大，蒸镀成膜过程中使用的金属掩膜版的面积也越来越大，金属掩膜版在吸附固定时，由于自身重力的影响，其中间位置相比于边缘位置具有更大的下垂量，使得金属掩膜版呈现为弯曲面结构。由于磁板通常是一个平面结构，因此，金属掩膜版的中间位置与磁板的垂直距离大于边缘位置与磁板的垂直距离，这会导致金属掩膜版的中间位置与边缘位置受到的磁力不均匀，具体是，中间位置受到的磁力较小而边缘位置受到的磁力较大。

在蒸镀成膜过程中，由于金属掩膜版的中间位置与边缘位置受到的磁力不均匀将会造成以下问题：金属掩膜版受力不均导致其发生形变，不仅会引起蒸镀的有机发光层的图案出现异常，也会降低金属掩膜版的使用寿命。

发明内容

鉴于现有技术存在的不足，本发明提供了一种蒸镀设备的磁性固定板，其可以使得具有一定弯曲形状的金属掩膜版的各个位置受到的磁力趋于均匀，避免金属掩膜版发生形变，保障蒸镀的品质以及金属掩膜版的使用寿命。

为了达到上述的目的，本发明采用了如下的技术方案：

一种蒸镀设备的磁性固定板，用于吸附固定金属掩膜版，所述磁性固定板包括板体，所述板体中设置有多个容置槽，每一所述容置槽中插设有一磁块；其中，以所述板体的中心为基准，越靠近所述板体中心的容置槽的深度越大。

优选地，所述金属掩膜版在吸附固定时，由于自身重力的影响，所述金属掩膜版呈现为弯曲面结构；其中，所述多个容置槽的深度根据所述弯曲面结构设定，以使插设于所述多个容置槽中的各个磁块与所述金属掩膜版的垂直距离趋于相等。

优选地，所述多个容置槽在所述板体中呈矩阵阵列排布，以使所述磁块相应地呈矩阵阵列排布。

优选地，所述磁块凸起于所述板体的上表面。

优选地，所述板体上设置有连接臂，所述连接臂用于支撑所述磁性固定板。

优选地，所述连接臂连接于所述板体中心。