[发明专利]一种光路敏感型加速度计有效
申请号: | 201810074117.2 | 申请日: | 2018-01-25 |
公开(公告)号: | CN108333387B | 公开(公告)日: | 2021-04-06 |
发明(设计)人: | 卜勤练;王震;郑洁;赵慧;王敏 | 申请(专利权)人: | 武汉光迅科技股份有限公司 |
主分类号: | G01P15/18 | 分类号: | G01P15/18;G01P15/093 |
代理公司: | 深圳市爱迪森知识产权代理事务所(普通合伙) 44341 | 代理人: | 何婷 |
地址: | 430074 湖*** | 国省代码: | 湖北;42 |
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摘要: | 本发明涉及速度测量领域,具体涉及一种光路敏感型加速度计,其中包括光源、光电探测器、透镜和第一MEMS芯片,其中,第一MEMS芯片包括反射镜、支撑梁和质量块;反射镜设在质量块上,质量块与支撑梁连接,在加速度作用下,支撑梁使得质量块沿Z轴方向发生位移;透镜置于光源、光电探测器所在平面和反射镜所在平面之间;光电探测器用于接收由光源产生、透镜聚焦、反射镜反射回的光。本发明利用反射镜的轴向位移引起的光路损耗测量加速度值,结构简单、体积小、容易加工、成本低,且分辨率明显提高。同时,在此基础上改进得到可用于三维测量的加速度计,芯片设计简单、分辨率高,避免了传统设计中正交性误差大和体积大的缺点。 | ||
搜索关键词: | 一种 敏感 加速度计 | ||
【主权项】:
1.一种光路敏感型加速度计,其特征在于,包括光源(2)、光电探测器(3)、透镜(4)和第一MEMS芯片,其中,第一MEMS芯片包括反射镜(6)、支撑梁(7)和质量块(8);所述反射镜(6)设置在质量块(8)上,所述质量块(8)与支撑梁(7)连接,在加速度作用下,所述支撑梁(7)使得质量块(8)沿Z轴方向发生位移;所述透镜(4)置于光源(2)、光电探测器(3)所在平面和反射镜(6)所在平面之间;所述光电探测器(3)用于接收由光源(2)产生、由透镜(4)调整光路路径,最终由反射镜(6)反射回来的光。
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