[发明专利]探头设备在审
| 申请号： | 201810068560.9 | 申请日： | 2018-01-24 |
| 公开（公告）号： | CN108459182A | 公开（公告）日： | 2018-08-28 |
| 发明（设计）人： | 朴廷喜;姜斗植;尹龙雨 | 申请（专利权）人： | 塔工程有限公司 |
| 主分类号： | G01R1/073 | 分类号： | G01R1/073;G01R31/28 |
| 代理公司： | 北京弘权知识产权代理事务所(普通合伙) 11363 | 代理人： | 王建国;厉锦 |
| 地址： | 韩国庆*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 根据本发明的示例性实施例的探头设备可以在探针与电极彼此对齐的状态下以最佳的接触压力将探针压靠在电极上，并且探头设备可以包括：移动模块，其配置成朝向基板是可移动的；探头模块，其安装成相对于移动模块是可移动的，并且具有与基板的电极接触的探针；图像捕获单元，其在探针与基板的电极接触时捕获探针的图像；和控制单元，其基于由图像捕获单元捕获的探针的图像来确定探针是否与基板的电极接触。 | ||
| 搜索关键词： | 探针 基板 电极接触 探头设备 图像捕获单元 移动模块 可移动 电极 图像 捕获探针 接触压力 探头模块 对齐 压靠 捕获 配置 | ||
【主权项】：
1.一种探头设备，包括：移动模块，其配置成朝向基板是可移动的；探头模块，其安装成相对于移动模块是可移动的，并且具有与基板的电极接触的探针；图像捕获单元，其在探针与基板的电极接触时捕获探针的图像；和控制单元，其基于由图像捕获单元捕获的探针的图像来确定探针是否与基板的电极接触。
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