[发明专利]探头设备在审
| 申请号： | 201810068560.9 | 申请日： | 2018-01-24 |
| 公开（公告）号： | CN108459182A | 公开（公告）日： | 2018-08-28 |
| 发明（设计）人： | 朴廷喜;姜斗植;尹龙雨 | 申请（专利权）人： | 塔工程有限公司 |
| 主分类号： | G01R1/073 | 分类号： | G01R1/073;G01R31/28 |
| 代理公司： | 北京弘权知识产权代理事务所(普通合伙) 11363 | 代理人： | 王建国;厉锦 |
| 地址： | 韩国庆*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 探针 基板 电极接触 探头设备 图像捕获单元 移动模块 可移动 电极 图像 捕获探针 接触压力 探头模块 对齐 压靠 捕获 配置 | ||
1.一种探头设备，包括：
移动模块，其配置成朝向基板是可移动的；
探头模块，其安装成相对于移动模块是可移动的，并且具有与基板的电极接触的探针；
图像捕获单元，其在探针与基板的电极接触时捕获探针的图像；和
控制单元，其基于由图像捕获单元捕获的探针的图像来确定探针是否与基板的电极接触。
2.根据权利要求1所述的探头设备，其中，当探头模块朝向基板移动时，控制单元检测探针是否到达图像捕获单元的焦点，并且当探针到达图像捕获单元的焦点时，控制单元确定探针与基板的电极接触。
3.根据权利要求1所述的探头设备，其中，控制单元基于由图像捕获单元捕获的探针的图像来检测探针是否变形，并且当探针变形时，控制单元确定探针与基板的电极接触。
4.根据权利要求2或3所述的探头设备，其中，探头模块包括分别与基板的多个电极接触的多个探针，并且控制单元通过检测多个探针是否与多个电极接触来检测探头模块关于移动模块的位姿。
5.如权利要求4所述的探头设备，还包括：
位姿调整单元，其在探针与基板的电极接触时调整探头模块关于移动模块的位姿。
6.根据权利要求1所述的探头设备，其中，控制单元基于由图像捕获单元捕获的探针的图像来检测探针的变形量，并且当探针的变形量处于参考范围内时，控制单元确定探针与基板的电极接触。
7.根据权利要求6所述的探头设备，其中，探头模块包括分别与基板的多个电极接触的多个探针，并且控制单元通过检测多个探针的变形量来检测探头模块关于移动模块的位姿。
8.根据权利要求7所述的探头设备，其中，当探针与基板的电极接触时，位姿调整单元调整探头模块关于移动模块的位姿。
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