[发明专利]基于单晶二维压电材料的自驱动压力传感器及制备方法在审
| 申请号： | 201810067410.6 | 申请日： | 2018-01-24 |
| 公开（公告）号： | CN108365084A | 公开（公告）日： | 2018-08-03 |
| 发明（设计）人： | 胡平安;戴明金;郑威;刘光波;陈洪宇 | 申请（专利权）人： | 哈尔滨工业大学 |
| 主分类号： | H01L41/113 | 分类号： | H01L41/113;H01L41/18;H01L41/33 |
| 代理公司： | 北京天奇智新知识产权代理有限公司 11340 | 代理人： | 范光晔 |
| 地址： | 150001 黑龙*** | 国省代码： | 黑龙江;23 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种基于单晶二维压电材料的自驱动压力传感器及制备方法，属于传感器技术领域。本发明中金电极直接接触二维压电材料纳米片，聚二甲基硅氧烷柔性衬底提供支撑，银浆用于连接金电极和导线，导线作为外电路测试时的电极。制备方法为：在云母上制备出少层的单晶二维压电材料纳米片；利用聚合物辅助的方法将单晶二维压电材料纳米片转移到柔性衬底上；用碳纤维作为掩模板，利用热蒸发镀膜技术蒸镀金电极；利用银浆和导线引出电极以供测试，完成器件制备。本发明的制备工艺实施简单，避免了使用繁琐复杂的光刻技术；所制备的压电传感器具有柔性，可穿戴，高灵敏度，高稳定性的特点，在监测人体生理信号(脉搏和呼吸)时表现出优异的性能。 | ||
| 搜索关键词： | 压电材料 二维 制备 单晶 纳米片 压力传感器 金电极 自驱动 银浆 传感器技术领域 聚二甲基硅氧烷 云母 导线引出电极 人体生理信号 测试 热蒸发镀膜 压电传感器 衬底提供 镀金电极 高灵敏度 高稳定性 光刻技术 器件制备 制备工艺 聚合物 辅助的 可穿戴 碳纤维 外电路 掩模板 电极 衬底 少层 脉搏 呼吸 监测 支撑 | ||
【主权项】：
1.一种基于单晶二维压电材料的自驱动压力传感器，其特征在于，包括：聚二甲基硅氧烷柔性衬底(1)、金电极(2)、单晶二维压电材料纳米片(3)、银浆(4)和导线(5)，其中，金电极(2)直接接触单晶二维压电材料纳米片(3)，聚二甲基硅氧烷柔性衬底(1)提供支撑，银浆(4)用于连接金电极(2)和导线(5)，导线(5)作为外电路测试时的电极。
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