[发明专利]测试机台及测试方法在审
| 申请号： | 201810064762.6 | 申请日： | 2018-01-23 |
| 公开（公告）号： | CN108279368A | 公开（公告）日： | 2018-07-13 |
| 发明（设计）人： | 张藏文;朱鹏 | 申请（专利权）人： | 德淮半导体有限公司 |
| 主分类号： | G01R31/26 | 分类号： | G01R31/26;G01R1/067 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 徐文欣;吴敏 |
| 地址： | 223302 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 一种测试机台及测试方法，测试机台包括：探针卡，所述探针卡包括基板，所述基板包括探针面，所述探针面包括探针区和位于所述探针区两侧的限位区；位于所述探针区表面的探针，所述探针包括相对的第一端和第二端，所述第二端与所述探针面接触，所述第一端到所述探针面的距离为第一距离；位于所述限位区的限位结构，所述限位结构包括相对的第一面和第二面，所述第二面朝向所述探针面，所述第一面与探针面之间的距离为第二距离，当探针和限位结构接触晶圆表面时，所述第一距离与第二距离之间的最大差值大于零且小于临界尺寸。所述测试机台能够减少晶圆的损耗。 | ||
| 搜索关键词： | 探针面 测试机台 探针 限位结构 探针区 第二面 第一端 探针卡 限位区 基板 测试 晶圆表面 晶圆 | ||
【主权项】：
1.一种测试机台，其特征在于，包括：测试台，所述测试台包括承载面，所述承载面用于承载晶圆；探针头，所述探针头安装探针卡，探针卡用于对晶圆进行测试，所述探针卡包括：基板，所述基板包括探针面，所述探针面包括探针区和位于所述探针区两侧的限位区，所述探针面工作时朝向所述承载面；位于所述探针区表面的探针，所述探针包括相对的第一端和第二端，所述第二端与所述探针面接触，所述第一端到所述探针面的距离为第一距离；位于所述限位区的限位结构，所述限位结构包括相对的第一面和第二面，所述第二面朝向所述探针面，所述第一面与探针面之间的距离为第二距离，当探针和限位结构接触晶圆表面时，所述第一距离与第二距离之间的最大差值大于零且小于临界尺寸。
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